Nella linea di produzione, le fasi di cottura sono proprio quelle in cui viene definito il “budget termico” necessario per controllare lo spessore delle linee sul circuito stampato. Una variazione di 2°C durante la cottura può influenzare negativamente la qualità del prodotto e causare problemi legati alla formazione di impurità sulla superficie del circuito stampato. Per ridurre tali variazioni, abbiamo progettato un riscaldatore basato su nanotubi di carbonio.
Cosa è importante dal punto di vista tecnico
Si ottiene una uniformità termica a livello del wafer di ±0,1°C, con una ripetibilità dei valori di setpoint entro ±0,2°C. L’elemento a base di nanotubi di carbonio risponde rapidamente e mantiene una stabilità elevata; inoltre, la struttura senza quarzo riduce al minimo la formazione di particelle. Il dispositivo può funzionare in ambienti puliti di classe 1–100, senza che vi sia alcuna emissione di gas nell’ambiente di lavorazione, né punti caldi che possano danneggiare il materiale utilizzato per la litografia. Il controllo della temperatura assicura che essa corrisponda alle caratteristiche chimiche del materiale utilizzato, evitando così eventuali problemi legati all’eccessivo riscaldamento.
Perché funziona nella litografia
Nella litografia, la stabilità della temperatura durante la cottura influisce sulla rimozione dei solventi e sulla tensione presente nel film depositato. La stabilità ottenuta grazie a questo riscaldatore migliora l’adesione del film e ne aumenta la resistenza all’etching. Grazie a questo dispositivo, le variazioni nello spessore delle linee diminuiscono, riducendo i tempi di rifinitura e migliorando la qualità del prodotto. Il dispositivo può funzionare 24/7, con intervalli di manutenzione prevedibili; in questo modo si riducono i tempi di inattività imprevisti. Inoltre, il consumo energetico è inferiore, poiché il riscaldatore funziona in modo efficiente e mantiene la temperatura senza dover essere riavviato continuamente.
I dettagli necessari
Il riscaldatore richiede una fonte di alimentazione dedicata e filtrata, nonché un sistema adeguato per fissarlo al chuck. Se le interfacce tra i componenti non sono correttamente configurate, ciò potrà causare problemi legati all’uniformità termica. È consigliabile effettuare dei test preliminari per regolare le impostazioni di riscaldamento in base alle caratteristiche specifiche del materiale utilizzato. Una volta impostato correttamente, il processo diventa più preciso e la qualità del prodotto rimane costante da un lotto all’altro.