Nelle linee di produzione, la deriva termica durante il processo di essiccazione dei wafer non rappresenta soltanto un ostacolo: essa influisce negativamente sulle dimensioni critiche dei wafer e lascia residui che causano una riduzione della qualità del prodotto finito. Per ovviare a questo problema, abbiamo sviluppato dei riscaldatori a infrarossi ad alta velocità, in grado di eliminare tali derivate fin dalla loro origine.
Cosa è importante dal punto di vista tecnico
Utilizziamo elementi riscaldanti a infrarossi a lunghezza d’onda corta, inseriti in involucri di quarzo. In questo modo si ottiene una elevata densità di radiazione, con tempi di risposta inferiori a un secondo. Nella zona attiva, l’uniformità della temperatura sui wafer rimane entro valori compresi tra ±0,1°C; inoltre, la ripetibilità del valore di temperatura richiesto rimane entro ±0,5°C dopo il periodo di riscaldamento. La potenza erogata rimane stabile, dal momento iniziale fino allo stato di equilibrio; non ci sono zone calde che possano influenzare negativamente il flusso del fotorest. I nostri riscaldatori sono progettati per essere utilizzati in ambienti puliti di Classe 1–100: i materiali utilizzati permettono di minimizzare al massimo la generazione di particelle. Si può prevedere una durata operativa di oltre 5.000 ore, con una diminuzione della potenza erogata inferiore al 5%, anche in condizioni di funzionamento continuo.
Perché funziona nella pratica
Nella litografia, il processo di essiccazione delicata serve a definire le caratteristiche del fotorest, mentre il processo di essiccazione intensiva serve a fissarle. I nostri riscaldatori a infrarossi permettono di ridurre rapidamente la temperatura, in modo che i solventi vengano eliminati senza far bollire il film. Questa stessa velocità è utile anche dopo la pulizia: l’essiccazione dei wafer avviene in modo rapido e uniforme, riducendo così le imperfezioni superficiali e permettendo un controllo più preciso sull’energia superficiale. I vantaggi sono rappresentati da tempi di processo più brevi, meno necessità di ripetute lavorazioni e minori sprechi. Inoltre, il consumo energetico diminuisce, poiché i riscaldatori funzionano a temperature più basse e raggiungono più rapidamente il valore di temperatura desiderato rispetto ai tradizionali riscaldatori.
Cose da considerare durante l’installazione
L’installazione richiede una precisa allineamento ottico e l’uso di riflettori appropriati; in caso di malfunzionamenti dell’allineamento, si verificheranno delle irregolarità sulla superficie del wafer. Inoltre, i riscaldatori richiedono una corrente elettrica di alta qualità: eventuali oscillazioni di tensione o transienti possono causare instabilità nell’erogazione di calore. È quindi necessario utilizzare una fonte di alimentazione protetta e verificare che l’equipaggiamento funzioni correttamente entro i limiti previsti.