Mehr aus Ihren Leuchten herausholen mit Quarzschutzschirmen
Wenn Sie eine Halbleiterfabrik betreiben, wissen Sie, dass Infrarotheizlampen unverzichtbar sind, um Wafer zu trocknen und zu härten. Doch wenn es darum geht, die Ziele der Kohlenstoffneutralität zu erreichen, müssen wir aufhören, die Stellen zu ignorieren, an denen Energie verschwendet wird.
Dabei kommen die Quarzglas-Schutzschirme ins Spiel. Die meisten Menschen betrachten sie lediglich als Schutzabdeckungen. Tatsächlich fungieren sie eher wie „Verkehrsregler“ für die Wärme – sie bestimmen, wie viel Energie tatsächlich auf den Wafer trifft und wie viel davon in den Raum entweicht.
Materialanforderungen
Wir verwenden hochreines Gefügequarz aus einem einfachen Grund: Es lässt Kurzwellen-Infrarotstrahlung ungehindert hindurchdringen, ohne sie aufzunehmen. Billiges Glas hingegen ist eine Falle – es nimmt die Energie auf, wird selbst heiß und raubt damit die Wärme, die eigentlich auf den Wafer gelangen sollte. Um diesen Verlust auszugleichen, muss man die Leistung der Lampen erhöhen. Das ist pure Verschwendung. Wenn man einen Schutzschirm mit hoher Transmissionsrate verwendet, sinkt der Stromverbrauch. So einfach ist das.
Vermeidung von Überhitzung
In Fabriken herrscht zwar Sauberkeit – doch die chemischen Dämpfe, die dort vorhanden sind, sind äußerst schädlich. Der Quarzschutzschirm übernimmt diese Belastung, sodass die Lampen nicht überhitzt werden. Dadurch werden Verunreinigungen verhindert, die sonst das Lampenglas beschädigen könnten. Ohne solchen Schutzschirm entstehen „heiße Punkte“. Sobald diese auftreten, wird das Glas belastet und der Glühfaden zerbricht schneller, als es sollte.
Weniger Austausch der Lampen bedeutet weniger Abfall und weniger Ausrüstung, die in Deponien landet. Das macht das Arbeiten einfacher.
Nachteile: Zeitverzug und Luftstrom
Nicht alles ist perfekt. Durch den Einsatz eines Schutzschirms entsteht eine physische Lücke, wodurch ein gewisser thermischer Zeitverzug entsteht. Man muss daher die PID-Regler anpassen, um mit dieser Verzögerung umzugehen.
Außerdem kann diese Lücke dazu führen, dass Wärme zurückhaftet. Wenn die Kühlventilatoren nicht ausreichen, kann das Chassis überhitzen. Doch wenn der Luftstrom richtig eingestellt ist, funktioniert die Anlage kühler und verbraucht insgesamt weniger Energie.