Im Bereich der Lithografie sind die Prozesse des Weich- und Hartbrennens keine einfachen „thermischen Schritte“. Es handelt sich dabei um entscheidende Punkte, an denen die Genauigkeit des Musters bestimmt wird – oder auch nicht. Der Fotolack ist empfindlich gegenüber Temperaturschwankungen. Selbst geringfügige Abweichungen können dazu führen, dass die Kontrolle über die CD-Qualität beeinträchtigt wird.
Was technisch wichtig ist:
Wir verwenden Kurzwellenhalogenlampen in Quarzkäfigen – dadurch entsteht schnelle, trockene Wärme mit wenig Staubentstehung. Die entscheidende Parameter ist die Temperaturgleichmäßigkeit auf der Wafer-Oberfläche: ±0,1°C. Die Wiederholgenauigkeit bleibt ebenfalls hoch, sodass jeder Brennvorgang genauso verläuft wie der vorherige.
Das System ist für den Einsatz in Reinräumen konzipiert – es arbeitet in Klassen 1 bis 100 ohne jegliche Staubentstehung. Es behält ein stabiles thermisches Profil bei, selbst bei 24/7-Betrieb. Wir überwachen außerdem die Stabilität des Ausgangs über mehr als 5.000 Stunden hinweg. Der Energieverbrauch wird auf das erforderliche Niveau begrenzt, damit der thermische Budgets eingehalten werden können.
Warum das System im Fotolackverarbeitungsprozess funktioniert:
Es ist wichtig, dass beim Brennen die Lösungsmittel entfernt werden, ohne dass der Fotolack fließt oder Spannungen entstehen. Wenn dieser Prozess genau kontrolliert wird, verbessert sich die Rauheit der Linien und es kommt weniger zu Problemen. Dadurch werden die Prozessbedingungen verbessert und das Abstimmen der Vorlagen wird einfacher.
Es werden weniger Nachbearbeitungen benötigt, die Produktivität steigt – und außerdem wird weniger Energie verbraucht, da die Lampe schnell auf die gewünschte Temperatur kommt und diese dort hält.
Was man erwarten kann:
Die Lampe lässt sich problemlos integrieren. Allerdings muss die thermische Verbindung zur Beschichtungskammer passen. Gasstrom, Montagegenauigkeit sowie die Wärmeleitfähigkeit spielen dabei eine wichtige Rolle. Die Einrichtung des Systems dauert nur kurz – man muss lediglich den PID-Wert an die Eigenschaften der Kammer anpassen.
Sobald alles eingestellt ist, bleibt die Betriebszeit konstant, mit minimalem Wartungsaufwand. Doch die Lebensdauer der Lampe ist begrenzt – man sollte daher im Voraus Ersatztermine planen, damit man nicht überrascht wird.