Die richtige Wärmeabgabe in der Smart Fab
Wenn Sie eine Smart Fab für Industrie 4.0 planen, haben Sie vermutlich bereits erkannt, dass die alte Methode zur Wärmeabgabe nicht mehr ausreicht. Herkömmliche Widerstandsheizungen sind sehr langsam – es dauert lange, bis sie erwärmt sind, und noch länger, bis sie wieder abkühlen.
Deshalb setzen wir auf Infrarot-Systeme. Sie liefern die Wärme genau dort, wo sie benötigt wird – und das genau zu dem Zeitpunkt, an dem sie benötigt wird. Das ist wirklich die einzige Möglichkeit, die schnellen Temperaturänderungen zu erreichen, die bei der modernen Waferverarbeitung erforderlich sind.
Eine Steuerung, die tatsächlich reagiert
In der digitalen Produktion spielt die Rückkopplungsschleife eine entscheidende Rolle. Man kann nicht einfach abwarten, bis ein Konvektionsofen „mitkommt“.
Infrarot-Systeme sind anders: Sie reagieren bereits im nächsten Moment, wenn man die Spannung ändert. Man kann sie direkt in das PLC anschließen und den Wärmefluss je nach den Angaben der Sensoren anpassen.
Keine thermischen Verzögerungen mehr. Kein Raten mehr. Und das Beste: Man muss keine Wafer mehr wegwerfen, weil der Prozessbereich weiterhin eng bleibt.
Die Kompromisse (denn nichts ist perfekt)
Es gibt jedoch auch Nachteile. Wir entwickeln diese Systeme für hohe Leistungs-dichten – doch das belastet die Stromversorgung erheblich. Kurzwelliges Infrarot dringt schnell in die Oberfläche des Wafers ein – doch dabei wird viel Strom verbraucht. Überprüfen Sie daher unbedingt Ihre elektrische Infrastruktur, damit sie diese Spitzenlast bewältigen kann.
Achten Sie außerdem auf die Kühlung. Wenn die Lüfter oder Kühlaggregate nicht richtig dimensioniert sind, kann die Wärme aus den Lampengehäusen in die Umgebung strahlen. Dadurch ändert sich die Grundtemperatur – und man ist wieder am Anfang.
Alles unter einen Hut bringen
Es geht dabei nicht nur um die Temperatur, sondern auch um den Platzbedarf. Infrarotlampen sind kompakt – sie beanspruchen keinen so großen Raum wie herkömmliche Heizelemente. Dadurch haben Sie mehr Platz, um weitere Sensoren einzubauen oder eine weitere Verarbeitungsstufe hinzuzufügen.
So erhalten Sie schnellere Prozesse und eine kleinere Maschine. Nur eines darf nicht vergessen werden: Stellen Sie sicher, dass die Abschirmung ordentlich ist. Sie wollen schließlich nicht, dass Infrarotstrahlung Ihre optischen Sensoren stört. Das wäre wirklich ein Problem.