In der Produktion gilt folgendes Prinzip: Schon eine Abweichung von einem halben Grad in der Backtemperatur reicht aus, um die Homogenität der kritischen Dimensionen sowie die Ertragsrate zu beeinträchtigen. Die Mittelwellenquarzheizrohre sind so konstruiert, dass sie solche Abweichungen bereits vor dem Eintreten in die Messwerte verhindern.
Was wirklich wichtig ist, ist die Kontrolle direkt am Wafer. Die Mittelwelleninfrarotstrahlen dringen mit minimalem „Skin-Effekt“ durch den Fotoleiter ein. Zudem liefert das Quarzrohr Wärme schnell und effizient – schließlich hat es keine große thermische Masse. Wir halten die Homogenität der Waferoberfläche auf einem Niveau von ±0,1°C über den gesamten Backvorgang hinweg. Die Reproduzierbarkeit bleibt bei ±0,2°C über 5.000 Stunden hinweg konstant. So erhalten Sie eine stabile Leistung zwischen 100°C und 450°C, schnelle Temperaturänderungen bei weichem bzw. hartem Backvorgang sowie Kompatibilität mit Reinräumen der Klassen 1 bis 100 – ohne jegliche Partikelbildung. Die Quarzhülle gibt keine Gase ab und ist außerdem widerstandsfähig gegen chemische Angriffe. Zudem passt ihre Größe zu den Standard-Beschichtungs- und Beförderungsanlagen sowie zu manuellen Arbeitsplätzen – ohne dass Umbauten notwendig wären.
Der Grund dafür, warum dieses System in der Produktion funktioniert, liegt darin, dass es die thermischen Bedingungen innerhalb der vorgegebenen Grenzen hält. Die Profilmerkmale des Fotoleiters bleiben von Charge zu Charge konstant, es entstehen keine Ablagerungen, und die Rückstände werden entfernt, ohne dass ein Überbacken stattfindet. Dadurch werden weniger Nacharbeiten erforderlich, die Kontrolle der Abmessungen bleibt konstant, und der Energieverbrauch sinkt – schließlich wird die Wärme erst dann bereitgestellt, wenn sie benötigt wird, anstatt gespeichert zu werden. Das Rohr kann 24/7 ohne unplanmäßige Stillstandszeiten arbeiten. Falls ein Austausch notwendig ist, dauert dieser nur wenige Minuten.
Ein praktischer Tipp: Passen Sie das Mittelwellenspektrum an die Absorptionskurve Ihres Fotoleiters an. Stellen Sie sicher, dass Spannung, Typ der Endkappen sowie die Montageabstände zum Gerät übereinstimmen. Überprüfen Sie außerdem die Geometrie des Reflektors in Abhängigkeit von der Größe des Wafers. Rechnen Sie mit einer kurzen Aufwärmzeit, bis das System im stabilen Zustand ist. Halten Sie außerdem regelmäßig Kalibrierungen durch, um die Zuverlässigkeit des Systems zu gewährleisten.