Trong quy trình in ấn bằng phương pháp litogrphy, chỉ cần có sự chênh lệch 0,5 độ trong thông số thiết lập quá trình Soft Bake thôi cũng đủ khiến việc kiểm soát kích thước các chi tiết trên wafer bị sai lệch. Việc loại bỏ dung môi khỏi lớp photoresist cũng trở nên không ổn định, và điều này dẫn đến sai số trong quá trình Hard Bake. Sự đồng đều về nhiệt độ trên toàn bộ bề mặt wafer không phải là yếu tố “đặc biệt” gì cả; đó chính là yêu cầu cơ bản của quy trình.
Những yếu tố quan trọng về mặt kỹ thuật Các thiết bị phát tia hồng ngoại loại halogen giúp truyền nhiệt đến đúng vị trí cần thiết, một cách nhanh chóng và với mức độ kiểm soát phổ tia rất chính xác. Bước sóng ngắn của chúng giúp tăng khả năng hấp thụ của lớp photoresist, từ đó giúp quá trình xử lý diễn ra nhanh chóng và có thể lặp lại được. Chúng tôi duy trì mức độ đồng đều về nhiệt độ ở mức ±0,1°C trên toàn bộ bề mặt wafer nhờ vào hệ thống kiểm soát khép kín; thời gian phản ứng của chúng chỉ khoảng vài miligiây.
Khả năng tương thích với môi trường phòng sạch cũng là một ưu điểm của các thiết bị này: chúng được chế tạo từ vật liệu phù hợp với tiêu chuẩn phòng sạch loại 1–100, không tạo ra bất kỳ hạt bụi nào trong quá trình hoạt động, và có khả năng chống lại hiện tượng thoát khí. Độ tin cậy của chúng cũng rất cao: có thể hoạt động liên tục 24/7 với công suất ổn định, với mức giảm công suất dưới 5%.
Tại sao chúng lại hiệu quả trong thực tế? Trong quy trình xử lý photoresist, bạn cần duy trì nhiệt độ ổn định tại một vị trí cụ thể, mọi lúc. Các thiết bị phát tia hồng ngoại giúp ổn định nhiệt độ trong quá trình Soft Bake và Hard Bake, từ đó giúp giảm lượng dung môi còn sót lại, cải thiện độ bám của lớp photoresist lên bề mặt wafer.
Chính sự chính xác này cũng được áp dụng trong quá trình khắc và làm sạch wafer. Nhiệt độ bề mặt được kiểm soát chặt chẽ giúp tăng độ chính xác trong quá trình khắc, đồng thời ngăn chặn hiện tượng tải trọng quá mức lên bề mặt wafer. Kết quả là số lượng sản phẩm phải làm lại giảm đi, ít chất thải hơn, và việc truyền nhiệt cũng được kiểm soát chặt chẽ – nhờ đó, quy trình in ấn vẫn giữ được tiêu chuẩn mong muốn.
Những chi tiết quan trọng giúp chúng hoạt động hiệu quả Việc lắp đặt các thiết bị này đòi hỏi phải có sự căn chỉnh chính xác và khoảng cách phù hợp. Thiết bị phát tia cần được đặt sao cho hướng trực tiếp về vị trí cần xử lý, với mức độ nhiễu tối thiểu từ các khu vực lân cận. Bạn cần chọn các bộ phản xạ và phụ kiện lắp đặt phù hợp với cấu trúc của buồng xử lý.
Bạn cũng cần lập kế hoạch cho hệ thống dây điện và công tắc điều khiển sao cho phù hợp với môi trường phòng sạch, nhằm tránh nhiễu điện từ và duy trì nhiệt độ ổn định. Bạn có một khoảng thời gian ngắn để điều chỉnh các thiết lập, vì vậy hãy sử dụng khoảng thời gian này để điều chỉnh các thông số một cách chính xác, thay vì cố gắng điều chỉnh sau khi quy trình đã bắt đầu.