Trong quá trình nung phim chống chiếu trên bề mặt wafer, sự thay đổi nhiệt độ chỉ 0,2°C cũng có thể làm giảm đáng kể chất lượng sản phẩm. Trong hệ thống RTP, chiếc đèn này không chỉ đơn thuần là nguồn nhiệt mà còn đóng vai trò quan trọng trong việc đảm bảo tính đồng đều về nhiệt độ và khả năng lặp lại quy trình.
Chúng tôi chế tạo các loại đèn halogen dành cho hệ thống RTP, với khả năng kiểm soát phổ ánh sáng chính xác và tốc độ phản ứng nhanh. Cấu trúc sợi dây tóc, vỏ bằng thạch anh và các bộ phận phản xạ đều được thiết kế sao cho tạo ra vùng nhiệt ổn định, giúp duy trì mức độ đồng đều về nhiệt độ ở mức ±0,1°C. Độ ổn định của nhiệt độ được duy trì trong hàng nghìn chu kỳ, nhờ đó mức nhiệt độ quan trọng trong quy trình sản xuất không bị thay đổi từ lô này sang lô khác. Thiết kế của đèn phù hợp với môi trường phòng sạch, sử dụng vật liệu ít phát khí và cấu trúc được kiểm soát chặt chẽ để giảm thiểu sự nhiễm bẩn – điều mà quy trình in ấn rất cần tránh.
Trong quy trình in ấn, các bước nung phim chống chiếu đòi hỏi phải có độ chính xác cao về nhiệt độ để đảm bảo kích thước và góc thành của wafer. Các loại đèn của chúng tôi giúp tạo ra vùng nhiệt ổn định nhanh chóng, rút ngắn thời gian nung và giảm thiểu sự biến động nhiệt độ. Kết quả là chất lượng phim chống chiếu luôn ổn định từ lô này sang lô khác, giảm thiểu số lượng sản phẩm cần tái chế, và giúp kiểm soát chính xác kích thước của wafer. Việc sử dụng năng lượng cũng được giảm bớt nhờ vào khả năng gia nhiệt theo yêu cầu, với mức tổn thất năng lượng cực thấp. Đèn được thiết kế để hoạt động 24/7, giúp giảm thiểu thời gian ngưng máy không mong muốn.
Thực tế với các loại đèn halogen là chúng phản ứng nhanh, nhưng để đạt được mức độ đồng đều về nhiệt độ ở mức ±0,1°C, cần có nguồn điện ổn định và hệ thống làm mát hiệu quả. Hãy đảm bảo rằng đèn phù hợp với cấu trúc của buồng xử lý, đồng thời kiểm tra kỹ lưỡng tính tương thích với bộ điều khiển RTP. Tuổi thọ của sợi dây tóc đèn cũng có giới hạn, vì vậy cần lên kế hoạch thay thế đèn đúng thời điểm. Hãy coi đèn như một bộ phận quan trọng cần được bảo dưỡng cẩn thận, chứ không phải là vật tư có thể thay thế dễ dàng. Như vậy, quy trình xử lý nhiệt sẽ được kiểm soát tốt hơn.