Trong quy trình sản xuất, sự thay đổi nhiệt độ chỉ 1°C trong quá trình nung phim photoresist cũng đủ để khiến độ rộng của các đường kẻ trên wafer thay đổi vài nanomet – điều này dẫn đến việc phải loại bỏ một lượng lớn sản phẩm không đạt chuẩn. Bạn không cần phải điều chỉnh nhiệt độ liên tục; thay vào đó, hãy duy trì nhiệt độ ở mức ổn định. Chúng tôi đã thiết kế thành phần gia nhiệt dành cho các nhà sản xuất chip, nhằm kiểm soát nhiệt độ ngay tại wafer, chứ không chỉ ở mức được thiết lập ban đầu.
Điều quan trọng cần lưu ý
Thành phần gia nhiệt này sử dụng các bộ phát tia hồng ngoại tầng sóng ngắn trong vỏ bằng thạch anh; nhờ đó, tốc độ gia nhiệt nhanh và khả năng kiểm soát nhiệt độ ở mức cao. Điều quan trọng nhất là mức độ đồng đều của nhiệt độ trên toàn bộ bề mặt wafer: khoảng ±0,1°C, được đo trực tiếp tại chỗ. Thiết bị này có thể hoạt động trong môi trường sạch loại 1–100 mà không tạo ra các hạt bụi, và điều này được đảm bảo nhờ hệ thống giám sát bên trong buồng sản xuất. Độ lặp lại của nhiệt độ vẫn nằm trong khoảng ±0,2%, ngay cả khi thiết bị hoạt động 24/7. Phản ứng nhiệt của thiết bị được điều chỉnh sao cho phù hợp với các quy trình nung phim photoresist. Thiết bị này có thể được sử dụng với wafer kích thước 200/300 mm, với điện áp tiêu chuẩn và kích thước gọn nhẹ, phù hợp với các thiết bị của các nhà sản xuất chip.
Tại sao thiết bị này lại hiệu quả trong quy trình sản xuất
Trong các quy trình in ấn và đóng gói chip, thiết bị này giúp duy trì nhiệt độ ở mức ổn định, giúp tránh việc phải làm lại sản phẩm. Mức độ đồng đều cao giúp giảm sai số về độ dày của các lớp trên wafer, từ đó nâng cao tỷ lệ sản phẩm đạt chuẩn. Các chu kỳ hoạt động của thiết bị diễn ra nhanh chóng và ổn định, giúp rút ngắn thời gian sản xuất mỗi lô hàng. Thiết kế phù hợp với môi trường sạch giúp giảm lượng bụi, từ đó giảm số lần vệ sinh và số lần báo động xảy ra. Việc sử dụng năng lượng cũng được tối ưu hóa nhờ việc điều chỉnh chính xác thông số của bộ phát tia và giảm khối lượng nhiệt, từ đó giảm chi phí sản xuất mỗi wafer. Khi cần thay thế thiết bị, việc thay thế có thể được thực hiện mà không cần phá hủy buồng sản xuất, giúp giảm thời gian ngừng máy.
Những điều cần lưu ý
Bạn cần sử dụng các socket phù hợp và hệ thống bảo vệ để ngăn nhiệt lượng dư thừa ảnh hưởng đến các bộ phận quang học và các chất liệu polyme. Cần có thời gian ấm lên trước khi thiết bị đạt mức độ đồng đều mong muốn – hãy lên kế hoạch cho việc bảo trì thiết bị. Để đạt được độ ổn định tốt nhất, hãy tuân thủ giới hạn điện áp được quy định và kiểm soát nhiệt độ môi trường. Chúng tôi hỗ trợ việc tích hợp thiết bị này với các nền tảng sản xuất của các nhà sản xuất chip lớn, nhưng bạn cần kiểm tra lại các kết nối, cách lắp đặt và hệ thống làm mát trước khi đưa thiết bị vào sử dụng.