Trên sàn sản xuất, sự trôi nhiệt được đo bằng phần nhỏ của một độ. Một dao động 0,5°C trong quá trình nung photoresist có thể làm dịch chuyển kích thước quan trọng, và một vùng nhiệt không chính xác sẽ tạo điều kiện cho các hạt bụi gây hại cho wafer. Mục tiêu không phải là theo đuổi nhiệt độ đỉnh. Mà là kiểm soát năng lượng nhiệt một cách chính xác và ổn định.
Điều quan trọng về mặt kỹ thuật
Chúng tôi xây dựng các hệ thống gia nhiệt duy trì độ đồng đều ở mức wafer ±0,1°C trong toàn bộ phạm vi quy trình. Bộ phát NIR cung cấp năng lượng thể tích nhanh cho quá trình nung mềm và nung cứng, trong khi hệ thống điều khiển vòng kín giữ độ ổn định điểm đặt ngay cả khi điện áp nguồn và tải nhiệt thay đổi. Phần cứng được đánh giá cho phòng sạch từ Class 1 đến 100, với xác nhận không sinh ra hạt bụi thông qua giám sát tại chỗ.
Độ tin cậy được thiết kế cho hoạt động 24 giờ liên tục. Các thành phần được lựa chọn với tuổi thọ trên 5.000 giờ, và khoảng thời gian bảo trì được dự đoán trước.
Tại sao hệ thống này hiệu quả trong xử lý lithography và photoresist
Độ chính xác nhiệt độ trực tiếp ảnh hưởng đến kiểm soát độ rộng đường nét và giảm số lượng lô phải làm lại. Độ đồng đều nghiêm ngặt cắt giảm hiện tượng viền cạnh và cải thiện tính chất chính xác của mẫu, đồng thời các profile nung ổn định rút ngắn chu kỳ xác nhận và giảm tỉ lệ phế phẩm.
Hệ thống chỉ gia nhiệt vùng mục tiêu, do đó giảm tiêu thụ năng lượng. Độ ổn định giữ công thức chế biến cố định qua các ca, thiết bị và nhà máy. Kết quả là năng suất cao hơn, chi phí trên mỗi wafer thấp hơn và thời gian hoạt động không bị gián đoạn bất ngờ.
Đây là những điều cần chuẩn bị
Hệ thống này yêu cầu nguồn điện riêng biệt, cùng với không khí sạch và khô để giữ cho cửa kính quang học không bị mờ và cảm biến nhiệt đo chính xác. Việc tích hợp với các công cụ track hiện có là đơn giản, nhưng các tham số điều khiển phải được điều chỉnh phù hợp với hóa chất photoresist và cấu trúc nền cụ thể.
Lên kế hoạch chạy thử ngắn để cố định profile nung, sau đó khóa các thiết lập quy trình. Khi đã thiết lập, hệ thống hoạt động theo yêu cầu và ngân sách nhiệt được giữ trong giới hạn cho phép.