فیبرک فلور پر، فوٹو ریزسٹ کو بیک کرنے کے دوران 1 ڈگری سیلسیس کا فرق بھی لائن ویڈتھ کو نینومیٹر کی سطح پر تبدیل کرنے کے لئے کافی ہے؛ اور یہ بہت بڑا نقصان ہے۔ آپ کو درجہ حرارت کو کنٹرول کرنے کی ضرورت نہیں، بلکہ اسے مستقل رکھنا ہی ضروری ہے۔ ہم نے OEM سیمی کنڈکٹر ہیٹنگ عناصر کو ایسے ہی ڈیزائن کیا ہے کہ کنٹرول صرف سیٹپوائنٹ پر ہی نہیں، بلکہ ویفر کی سطح پر بھی ہو۔
جو چیزیں اہم ہیں
اس عنصر میں کوارٹز باڈی میں شارٹ-ویو انفراریڈ ہیلوجن ایمیٹرز استعمال کئے گئے ہیں؛ اس لئے ریمپ ریٹ تیز ہے، اور سٹیڈی-اسٹیٹ کنٹرول بھی بہترین ہے۔ آپ کے لئے اہم بات یہ ہے کہ ویفر کی سطح پر یکسانیت ہو، یعنی ایکٹیو زون میں ±0.1 ڈگری سیلسیس کا فرق، جو براہ راست پیمائش کیا جاتا ہے۔ یہ عنصر کلاس 1–100 کے کلین رومز میں بھی استعمال کیا جا سکتا ہے، اور اس سے کوئی ذرات پیدا نہیں ہوتے۔ آؤٹ پٹ کی تکراریت ±0.2% کے اندر رہتی ہے، حتی کہ 24/7 کام کرنے کے دوران بھی۔ تھرمل ردِعمل کو فوٹو ریزسٹ کے سافٹ/ہارڈ بیکنگ پروفائلز کے لئے خصوصی طور پر ایڈجسٹ کیا گیا ہے۔ آپ اسے 200/300 ملی میٹر ویفرز کے لئے بھی استعمال کر سکتے ہیں، اور اس کے لئے معیاری وولٹیج اور کمپیکٹ سائز بھی دستیاب ہے۔
پیداوار میں اس کی اہمیت
لیتھوگرافی اور پیکیجنگ لائنوں میں، یہ عنصر بیکنگ پروفائلز کو مناسب سطح پر رکھنے میں مدد کرتا ہے، تاکہ دوبارہ کام کرنے کی ضرورت نہ پڑے۔ یکسانیت کی وجہ سے ویفر کی سطح پر غلطیاں کم ہوتی ہیں، اور اس سے پیداوار میں اضافہ ہوتا ہے۔ یہ عنصر تیز اور مستحکم کام کرتا ہے، جس سے ہر بیچ کا وقت کم ہو جاتا ہے۔ کلین روم سے مطابقت رکھنے والی ڈیزائن کی وجہ سے ذرات کی تعداد کم رہتی ہے، جس سے الارمز بھی کم ہوتے ہیں۔ درستگی سے ایمیٹرز کا استعمال اور کم تھرمل ماس کی وجہ سے توانائی کی کھپت کم ہوتی ہے، جس سے ہر ویفر کی لاگت کم ہو جاتی ہے۔ جب اسے تبدیل کرنے کی ضرورت پڑتی ہے، تو اسے بغیر پروسیس چیمبر کو توڑے ہی نصب کیا جا سکتا ہے، جس سے غیرمتوقع بندشیں کم ہو جاتی ہیں۔
کن چیزوں پر توجہ دینی ہے
آپ کو مناسب ساکیٹس اور مناسب شیلڈنگ کی ضرورت ہے، تاکہ غیرضروری حرارت آپٹیکل آلات اور پولیمرز تک نہ پہنچے۔ مطلوبہ یکسانیت حاصل کرنے سے پہلے ایک وارم-اپ پیریڈ کی ضرورت ہے؛ اسے PM کے دوران ہی شامل کرنا ضروری ہے۔ بہترین استحکام کے لئے، مخصوص وولٹیج کی حدود کے اندر ہی کام کرنا ضروری ہے، اور ماحولیاتی درجہ حرارت کو بھی کنٹرول میں رکھنا ضروری ہے۔ ہم بڑے OEM پلیٹ فارمز کے ساتھ اس کے انٹیگریشن کی حمایت کرتے ہیں، لیکن اسے نصب کرنے سے پہلے اپنی ٹیم کے ساتھ پنوٹ، ماؤنٹنگ اور کولنگ سسٹم کی جانچ ضرور کریں۔