فیبرک فلور پر، فوٹو ریزسٹ کو بیک کرنے کے دوران ہاٹ پلیٹ کے درجہ حرارت میں 0.5°C کا فرق، لائن ویڈتھ کنٹرول کو خراب کرنے کا سبب بنتا ہے، جس سے پروڈکشن عمل ناکام ہو جاتا ہے۔ لہذا، درجہ حرارت کی پیمائش اس طرح کی جانی چاہیے کہ یہ سیٹ پوائنٹ کے مطابق ہو، نہ کہ ہیٹر کے گرم مقامات کے مطابق۔
تکنیکی اعتبار سے کیا اہم ہے؟
ہم سیمی کنڈکٹر ہیٹرز کے لئے تھرموکپلز بناتے ہیں، تاکہ ویفر کی سطح پر درجہ حرارت کو ±0.1°C کے اندر رکھا جاسکے، اور مختلف بیچوں میں بھی یہ استحکام برقرار رہے۔ سینسنگ جنکشن وہیں ہوتا ہے جہاں ویفر کو واقعی درجہ حرارت محسوس ہوتا ہے، نہ کہ ہیٹر بلاک کے گرم مقامات پر۔
یہ سسٹم کلاس 1-100 کے کلین رومز میں استعمال کے لئے مناسب ہے؛ یہ کسی قسم کے ذرات کی پیداوار نہیں کرتا، اور بار بار ہونے والے حرارتی تغیرات کو برداشت کرسکتا ہے۔ یہ سسٹم 24/7 کام کرتے ہوئے بھی مستحکم رہتا ہے، جس سے کسی قسم کی بلاوجہ تعطل کی صورت حال نہیں پیدا ہوتی، اور مرمت کے اوقات بھی پیشن گوئی کے مطابق ہوتے ہیں۔
لیتھوگرافی میں یہ سسٹم کیوں کارگر ہے؟
لیتھوگرافی میں، بیکنگ ماڈیول کو سخت حرارتی شرائط کے تحت کام کرنا پڑتا ہے۔ ہمارے تھرموکپلز، درجہ حرارت کو کنٹرول میں رکھتے ہیں، جس سے CD میں تغیرات کم ہوتے ہیں، فوٹو ریزسٹ کی کارکردگی بہتر ہوتی ہے، اور فضول مواد کی مقدار کم ہوتی ہے۔
بہتر کنٹرول سے، کوالیفیکیشن کے عمل میں وقت کم ہوتا ہے، اور اوورشوٹ سے بچ کر توانائی کی کھپت بھی کم ہوتی ہے۔ اس کے نتیجے میں پیداوار میں اضافہ ہوتا ہے، دوبارہ کام کرنے کی ضرورت کم ہوتی ہے، اور آلات کا استعمال بھی بہتر ہوتا ہے۔
کیا چیزیں درست رکھنا ضروری ہے؟
انسٹالیشن کے دوران درستگی بہت اہم ہے؛ پروب کو مخصوص گہرائی پر رکھنا ضروری ہے، اور ویفر کے سطح کے مطابق ہی ہونا چاہیے۔ غلط ترتیب یا خراب حرارتی رابطے سے درجہ حرارت کی یکسانیت خراب ہو جاتی ہے، اور فرق پیدا ہو جاتا ہے۔
یہ سسٹم زیادہ تر ہیٹر پلیٹ فارمز کے ساتھ کام کرتا ہے، لیکن بعض صورتوں میں خصوصی بریکٹ اور کنیکٹر کی ضرورت پڑتی ہے۔ ہیٹر کا ماڈل اور پروسیس کا درجہ حرارت بتائیں، تاکہ ہم شیلڈ مواد، انسولیشن، اور کیلیبریشن کرو کو آپ کے درجہ حرارت کے پروفائل کے مطابق تیار کرسکیں۔