MEMS سینسر ویفروں کو بغیر کسی مشکل کے خشک کرنا
MEMS سینسر ویفروں کو خشک کرنا ایک پیچیدہ عمل ہے۔ ضروری ہے کہ پانی کو جلد سے جلد ختم کیا جائے، لیکن اگر احتیاط نہ کی جائے، تو ویفروں پر پانی کے داغ پڑ سکتے ہیں، یا اس سے بھی بدتر صورت میں، میکانی دباؤ کی وجہ سے پورے ویفروں کو نقصان پہنچ سکتا ہے۔
اسی لئے ہم ایسے انفراریڈ ہیٹر استعمال کرتے ہیں جو اس مقصد کے لئے خصوصی طور پر تیار کئے گئے ہیں۔ یہ ہیٹر فضا کو گرم کرنے کے بجائے براہ راست ویفروں کی سطح کو گرم کرتے ہیں۔ اس طرح سطحی کشش کی وجہ سے ویفروں کے نازک ڈھانچوں کو نقصان پہنچنے سے بچایا جاتا ہے۔
حرارت کا عنصر
ہم ہر لکیری انچ کے لئے زیادہ واٹ کی شدت استعمال کرتے ہیں۔ کیوں؟ کیونکہ ہم چاہتے ہیں کہ ویفر چند سیکنڈوں میں ہی بخارات بن کر اڑ جائے، نہ کہ منٹوں میں۔ اگر خشک کرنے کا عمل طویل ہو جائے، تو اس سے آلودگی پیدا ہو سکتی ہے۔
لیکن یہاں ایک مشکل بھی ہے: زیادہ حرارت ایک دوہری تلوار کی طرح ہے۔ ضروری ہے کہ درجہ حرارت کو بہت احتیاط سے بڑھایا اور کم کیا جائے۔ اگر درجہ حرارت میں اچانک تبدیلی ہو جائے، تو سینسروں پر موجود پتلی جھلیاں ٹوٹ سکتی ہیں۔
کوارٹز اور “فضول” مسائل
استحکام کو برقرار رکھنے کے لئے، ہم فلامنٹس کو اعلیٰ خالصیت والے کوارٹز میں رکھتے ہیں۔ یہی وہ واحد طریقہ ہے جس سے انتہائی تیز درجہ حرارت کے باوجود بھی ویفروں کو نقصان نہیں پہنچتا۔
ہم فلامنٹس پر کوٹنگ بھی لگاتے ہیں۔ اس سے توانائی براہ راست ویفروں پر پہنچتی ہے، نہ کہ چیمبر کی دیواروں پر۔ اس طرح حرارت وہیں رہتی ہے جہاں ہونی چاہیے۔ اس کے علاوہ، ہم معیاری کنکٹرز استعمال کرتے ہیں، تاکہ مرمت کے وقت انہیں آسانی سے تبدیل کیا جا سکے۔
کسی غلطی کی گنجائش نہیں
کلین روم میں، ایک ہی الیکٹرک ارک بہت بڑا خطرہ ہے۔ یہ ایک ہی لمحے میں پورے ویفروں کو تباہ کر سکتا ہے۔
اسی لئے ہم کوئی قیاس نہیں کرتے۔ ہم جو بھی ہیٹر بھیجتے ہیں، اسے 100% ڈائی الیکٹرک سختی اور انسولیشن رزسٹنس ٹیسٹ سے گزارا جاتا ہے۔ ہم انہیں ان کی حد تک وولٹیج دیتے ہیں، تاکہ کوئی لیکیج نہ ہو۔ فیلیور کا امکان ہی نہیں ہے۔
آخری مشورہ: یقین کریں کہ آپ کے پاور سپلائی کی خصوصیات ہیٹر کی خصوصیات سے مطابقت رکھتی ہیں۔ اگر وہ مطابقت نہ رکھتے ہوں، تو یا تو کارکردگی خراب ہو جائے گی، یا فلامنٹس بہت جلد خراب ہو جائیں گے۔