Під час процесу випалювання профіль температури змінюється на 0,2°C, а фотополімер починає поводитися інакше. Єдності параметрів CD не вистачає. Кількість необхідних корекцій зростає. У літографії теплова стабільність є обов’язковою умовою – це частина самого процесу.
Що має значення при роботі обладнання
Ми створюємо запасні частини для нагрівачів Leybold на основі короткохвильових інфрачервоних елементів та кварцевих елементів, які забезпечують єдність температури на всій поверхні пластини до ±0,1°C. Корпус нагрівача сконструйований таким чином, щоб забезпечити герметичність у вакуумі; крім того, використовуються спеціальні елементи для контролю викидів газів та утворення частинок. Ми підбираємо опір та геометрію елементів так, щоб щільність потужності залишалась стабільною при потрібній напрузі, а точність температури – в межах допусків, передбачених для сучасних фотополімерів.
Чому це ефективно в промисловості
Для контролю процесу видалення розчинників та руху фотополімеру використовується процес м’якого та жорсткого випалювання в вакуумі. Завдяки цим запасним частинам параметри процесу залишаються стабільними з циклу в цикл, що дозволяє контролювати ширину ліній та кількість дефектів. Сумісність з приміщеннями класу 1–100 також зберігається, оскільки матеріали та елементи конструкції підібрані так, щоб мінімізувати утворення частинок. Це призводить до меншої кількості проблем, стабільної продуктивності та можливості планування періодів технічного обслуговування.
Деталі, які допомагають уникнути проблем
Підбір запасної частини під конкретний пристрій є дуже важливим. Перед заміною старого пристрою необхідно переконатися у правильності типу фланців, розташування елементів та місця розташування теплових елементів. Після установки необхідний короткий період налаштування, щоб пристрій знову міг ефективно функціонувати. Після цього єдність параметрів та точність температури будуть стабільними.