Як висушити пластини MEMS без проблем
Висушування пластин датчиків MEMS – це справжній випробування для тих, хто займається цим процесом. Необхідно, щоб рідина для промивання швидко зникла з поверхні пластини, але якщо не бути обережним, можуть утворитися краплі води чи, що ще гірше, механічні навантаження, які можуть пошкодити всю партію пластин.
Тож ми використовуємо інфрачервоні нагрівачі, призначені саме для цієї мети. Вони нагрівають не повітря, а безпосередньо поверхню пластини. Це дозволяє усунути вологу ще до того, як поверхневий натяг зможе пошкодити делікатні структури MEMS.
Аспекти температури
Ми прагнемо до високої потужності на одиницю довжини. Чому? Тому що потрібно, щоб пластина досягла температури випаровування за кілька секунд, а не хвилин. Якщо процес висушування триває занадто довго, це може призвести до забруднення пластин.
Але є одна проблема: висока температура є двозначною зброєю. Потрібно ретельно контролювати процес підвищення та зниження температури. Якщо раптово змінити температуру, тонкі мембрани на датчиках можуть пошкодитися. Усе залежить від правильного контролю температури.
Кварц та проблема „відходів“
Щоб уникнути нестабільності, ми використовуємо кварц високої чистоти для корпусів нагрівачів. Це єдиний спосіб уникнути значних коливань температури.
Крім того, ми покриваємо філаменти спеціальним шаром. Це дозволяє направити енергію безпосередньо на пластину, а не лише нагрівати стінки камери. Також ми використовуємо стандартні з’єднувачі, що дозволяє легко замінити їх під час технічного обслуговування.
Немає місця для помилок
У чистій кімнаті один лише електричний проміжок може стати катастрофою – він може знищити всю партію пластин за мить.
Тож ми не ризикуємо. Кожен нагрівач проходить 100% перевірку на стійкість до діелектриків та опір ізоляції. Ми піддаємо їх максимальним напругам, щоб уникнути будь-яких проблем. Перебої в роботі просто неприпустимі.
Остання порада: переконайтеся, що ваш джерело живлення відповідає імпедансу нагрівача. Якщо це не так, може виникнути проблема з роботою нагрівача чи його філаменти можуть швидко зноситися.