На виробничій лінії навіть незначне зміщення температури на рівні 0,2°C під час процесу випалювання фоторезисту може серйозно вплинути на якість продукції. У системах типу RTP лампа є не просто джерелом тепла – вона також гарантує точну температурну однорідність та повторюваність результатів обробки.
Ми виробляємо галогенні лампи для таких систем із точним керуванням спектром та швидкою реакцією. Геометрія нитки нагріву, кварцовий корпус та конструкція відбивача розроблені так, щоб забезпечити стабільну температуру в зоні нагріву – приблизно ±0,1°C. Рівень температури залишається стабільним протягом тисяч циклів, тож критичні параметри температури не змінюються від партії до партії. Конструкція лампи придатна для використання у чистих умовах – використовуються матеріали з мінімальним викидом газів та конструкція, яка запобігає появі частинок, що можуть завдати шкоди процесу літографії.
У процесі літографії необхідні точні температурні профілі для контролю критичних розмірів та кутів стінок. Наші лампи швидко досягають потрібної температури, скорочують час нагріву та запобігають її перевищенню. Це забезпечує стабільну роботу фоторезисту в кожній партії продукції, менше необхідності в повторній обробці та можливість точного контролю розмірів. Використання енергії зменшується, оскільки лампа нагрівається лише тоді, коли це необхідно, з мінімальними втратами енергії. Лампи розроблені для безперервної роботи протягом 24/7, що зменшує кількість непланових перерв у роботі.
Реальність використання галогенних ламп полягає у тому, що вони швидко реагують на зміни температури, але для досягнення цілі ±0,1°C необхідна стабільна подача електроенергії та належне охолодження. Лампу потрібно підбирати відповідно до геометрії камери, а також переконатися у її сумісності з контролером системи RTP. Тривалість служби лампи є обмеженою, тож необхідно планувати час її заміни відповідно до обсягу виробництва. Слід ставитися до лампи як до каліброваного компонента, а не як до одноразового витратного матеріалу – тоді температурний процес буде під контролем.