На этапе литографии даже небольшое отклонение в параметрах процесса Soft Bake в размере полуградуса может привести к сбоям в контроле критических размеров. Удаление растворителей из фоторезиста становится неравномерным, и затем процесс Hard Bake закрепляет эту ошибку. Тепловая однородность по всей площади пластины — это не дополнительный преимущество, а неотъемлемая часть процесса.
Что имеет значение с технической точки зрения:
Кварцевые галогеновые инфракрасные излучатели обеспечивают быстрое передачу тепла именно туда, где это необходимо, при точном контроле спектра излучения. Их коротковолновый спектр излучения оптимален для эффективного поглощения света фоторезистом, что позволяет ускорить процесс обработки и сделать его предсказуемым. Мы достигаем однородности температуры ±0,1°C по всей площади пластины благодаря системе замкнутого контроля; время реакции составляет несколько миллисекунд.
Совместимость с чистых помещениях является встроенной особенностью устройства: используются материалы, соответствующие стандартам класса 1–100; при работе не образуется никаких частиц, а само устройство не подвержено выделению газов. Надежность устройства подтверждается тем, что оно может работать более 5000 часов при номинальной мощности с снижением выходной мощности менее чем на 5%. Это позволяет использовать устройство круглосуточно.
Почему это работает на практике:
В процессе обработки фоторезиста необходимо, чтобы температура на одном и том же месте сохранялась постоянной. Эти излучатели обеспечивают стабильность температуры во время процессов Soft Bake и Hard Bake, что снижает количество растворителей в фоторезисте, улучшает его адгезию и способствует точному распределению слоев.
Та же точность также важна при процессах этичирования и очистки — контролируемая температура поверхности позволяет предсказать скорость этичирования и избегать микроповреждений поверхности. В результате сокращается количество продукции, потерянной в процессе переработки, а температурный контроль становится надежным — таким образом, литографический комплекс всегда будет работать в заданных параметрах.
Детали, обеспечивающие эффективность работы устройства:
Установка устройства требует точного выравнивания и соблюдения правил расстояний между компонентами. Излучатель должен направлять свет строго на целевую область, без какого-либо воздействия на соседние зоны. Необходимо выбирать отражатели и крепления, соответствующие геометрии чистого помещения.
Необходимо также правильно спланировать провода для подачи мощности и контроля, чтобы избежать помех и поддерживать стабильную температуру. Существует короткий период времени для достижения нужной температуры — его следует использовать для настройки параметров процесса, а не для корректировки после начала работы устройства.