На производственном участке всё просто: даже небольшое отклонение температуры в полградуса может нарушить стабильность параметров изделия и снизить его качество. Трубки среднечастотных инфракрасных нагревателей предназначены для предотвращения таких отклонений ещё до того, как они станут заметными на графиках контроля.
На самом деле важен контроль прямо на самой пластине. Среднечастотные инфракрасные лучи проникают сквозь фоторезист с минимальными потерями энергии; к тому же кварцевые трубки обеспечивают быстрое и эффективное нагревание, поскольку не имеют большой тепловой массы. Мы поддерживаем стабильность температуры на всей поверхности пластины в пределах ±0,1°C, а повторяемость результатов остается в пределах ±0,2°C в течение более 5 000 часов работы. Устройство обеспечивает стабильную работу при температурах от 100°C до 450°C, позволяет быстро изменять температуру в процессе нагрева, а также соответствует стандартам чистых помещений от класса 1 до класса 100, без образования частиц. Кварцевая оболочка не выделяет вредных газов и устойчива к химическому воздействию. Её размеры позволяют использовать её в стандартных установках для нагрева, без необходимости корректировок.
Причина, по которой это устройство подходит для промышленного использования, заключается в том, что оно позволяет сохранять температурный режим в заданных пределах. Параметры фоторезиста остаются стабильными при каждой серии производства, избегается образование осадков, а остатки веществ удаляются без необходимости дополнительного нагрева. Это приводит к сокращению количества переработок, стабильности параметров изделия и снижению энергопотребления, поскольку тепло отдаётся по мере необходимости, а не накапливается. Устройство может работать круглосуточно без перерывов, а в случае необходимости замены замена занимает всего несколько минут.
Важно учитывать спектр среднечастотных волн, соответствующий кривой поглощения фоторезиста. Необходимо также убедиться, что напряжение, тип концевых элементов и расстояние между элементами соответствуют требованиям оборудования. Также необходимо проверить геометрию отражателя в зависимости от размера пластины. Ожидается короткий период разогрева до рабочего состояния. Необходимо регулярно проводить калибровку в предложенные интервалы времени для обеспечения точности измерений.