На этапе литографии процессы мягкой и жесткой обработки не являются просто «термическими операциями». Это граница между сохранением качества изображения и необходимостью переработки продукции, чего совершенно не хочется. Фоторезист очень чувствителен к температурным колебаниям — любое отклонение может привести к срыву процесса.
Что имеет значение с технической точки зрения Мы используем галогенные лампы коротковолнового диапазона, расположенные в кварцевом корпусе. Это позволяет получить быстрое и эффективное нагревание при минимальном количестве частиц. Критически важной является однородность температуры по всей поверхности пластина: ±0,1°C. Повторяемость процедуры также должна быть высокой, чтобы каждая процедура давала одинаковый результат.
Система разработана для работы в условиях чистой комнаты: класс чистоты от 1 до 100, без образования частиц. Система поддерживает стабильный температурный режим круглосуточно. Мы контролируем стабильность процесса на протяжении более 5 000 часов. Потребление энергии регулируется в пределах необходимых значений, чтобы избежать избыточного нагрева.
Почему это работает при обработке фоторезиста Необходимо такое нагревание, которое позволяет удалить растворитель без приведения к изменению структуры фоторезиста или возникновению напряжений в его структуре. При строгом контроле этих параметров улучшается качество изображения и снижается количество нежелательных помех. Это позволяет упростить процедуру сопоставления изображений с шаблонами.
Снижается количество переработок, повышается производительность. Кроме того, потребляется меньше энергии, поскольку лампа быстро достигает заданной температуры и поддерживает её без её превышения.
Что можно ожидать при использовании данной системы Лампа хорошо интегрируется в систему, но тепловой интерфейс должен соответствовать параметрам камеры для нанесения покрытия. Важны также параметры потока газа, точность монтажа и теплоемкость. Настройка системы занимает немного времени — достаточно лишь настроить параметры PID в соответствии с характеристиками камеры.
После настройки система будет работать стабильно с минимальным количеством технического обслуживания. Однако срок службы лампы ограничен; необходимо заранее планировать сроки её замены, чтобы избежать неожиданных проблем.