На линии прогрева температура стабильна не по желанию — это жесткое требование. Сдвиг всего на несколько градусов может разрушить параметрический выход, а неравномерность запекания фоточувствительного материала уничтожит ваш узкий бюджет на литографию и превратит хорошие пластины в брак. Мы разработали наши инфракрасные лампы для прогрева пластин, чтобы поддерживать честность теплового поля смена за сменой.
Суть проста. Коротковолновые галогенные элементы внутри кварцевых оболочек обеспечивают быстрый, прямой излучаемый тепло с точным спектральным контролем, соответствующим профилю поглощения кремния и стеков фоточувствительного материала, которые вы используете. Интегрированные НИР-датчики замыкают контур в реальном времени, удерживая равномерность на уровне пластины в пределах ±0.1°C по активной зоне.
Корпус лампы спроектирован для чистых комнат класса 1–100 — с низкоиспаряющимися материалами и ламинарным потоком воздуха, который поддерживает генерацию частиц на нулевом уровне в стационарном состоянии. Повторяемость выходной мощности лучше 0.2% от цикла к циклу, так что профили мягкого и жесткого запекания остаются последовательными по партиям и по оборудованию.
Вот почему эта лампа подходит для прогрева и тестирования на уровне пластины. Вы получаете более быстрые темпы повышения без превышения, стабильные температуры запекания даже при высокой плотности загрузки и тепловые профили, которые переносятся между машинами без перенастройки. Потребление энергии снижается, потому что тепло передается напрямую, а неплановые простои уменьшаются, так как система спроектирована для работы 24/7.
Сменные модули означают, что вы минимизируете время простоя инструмента, когда требуется обслуживание.
Установка специфична для инструмента: планируйте точное оптическое выравнивание, монтаж, соответствующий требованиям чистых комнат, и захват отработанных газов, который контролирует локальную тепловую нагрузку. Лампа работает лучше всего, когда расстояние до цели и эмиссия остаются постоянными. Если вы измените стековые элементы или крепления, вам потребуется быстрая перекалибровка карты установленных значений, чтобы поддерживать равномерность в пределах спецификации.