На производственном участке достаточно изменения температуры на 1°C во время отжига фотополимера, чтобы линия профиля изменилась на несколько нанометров. Это приводит к большим потерям продукции. Необходимо поддерживать постоянную температуру, а не пытаться её изменять. Мы разработали специальные нагревательные элементы для использования в процессах обработки полупроводниковых пластин; они обеспечивают точный контроль температуры на уровне самой пластины, а не только на уровне заданного значения.
Что важно при использовании данного устройства
Устройство использует галогеновые излучатели коротковолнового инфракрасного излучения в кварцевом корпусе. Благодаря этому скорость регулировки температуры высока, а контроль на постоянном уровне — очень точный. Важным параметром является однородность температуры на всей поверхности пластины: ±0,1°C. Устройство может работать в чистых комнатах класса 1–100 без образования частиц, что обеспечивается системой мониторинга внутри камеры. Повторяемость результатов остается в пределах ±0,2%, даже при круглосуточной работе. Тепловая характеристика устройства оптимизирована для использования в процессах мягкого и жесткого отжига фотополимера. Устройство может использоваться с пластинами размером 200/300 мм; имеет стандартные параметры напряжения и компактные размеры, что позволяет использовать его в оборудовании производителей.
Почему устройство успешно используется в производстве
В процессах литографии и упаковки это устройство помогает поддерживать стабильные условия отжига фотополимера, что позволяет избежать необходимости переработки продукции. Высокая однородность температуры снижает ошибки, связанные с размерами пластины, и способствует повышению качества продукции. Процессы происходят быстро и стабильно, что сокращает время обработки одной партии продукции. Компактный дизайн устройства позволяет снизить количество частиц в чистой комнате, что снижает количество аварий. Энергопотребление минимизируется за счет точного подбора параметров излучателей и низкой тепловой массы, что снижает стоимость обработки каждой пластины. При замене устройства не требуется демонтажа всей процессной камеры, что снижает время простоя оборудования.
На что следует обратить внимание
Необходимо использовать соответствующие крепления и защиту, чтобы предотвратить попадание лишнего тепла на оптические элементы и полимеры. Перед достижением заданного уровня однородности температуры требуется период разогрева — это необходимо учитывать при планировании технического обслуживания. Для максимальной стабильности необходимо соблюдать указанные допуски напряжения и поддерживать постоянную температуру окружающей среды. Мы поддерживаем интеграцию устройства с основными платформами производителей, но перед использованием необходимо проконсультироваться с вашей командой по обслуживанию оборудования относительно способов подключения и охлаждения устройства.