Как высушить пластины MEMS без проблем
Высыхание пластин датчиков MEMS – это процесс, требующий осторожности. Необходимо, чтобы раствор для промывки исчезал как можно быстрее, но если не быть осторожным, на поверхности пластины могут появиться капли воды, а ещё хуже – механические повреждения, которые разрушат всю партию изделий.
Поэтому мы используем инфракрасные обогреватели, специально разработанные для этой цели. Они нагревают не воздух, а непосредственно поверхность пластины. Это позволяет устранить влагу до того, как поверхностное натяжение успеет сжать хрупкие структуры MEMS.
Аспекты, связанные с теплом
Мы стремимся к высокой мощности на единицу длины. Почему? Потому что нужно, чтобы пластина достигла температуры испарения за считанные секунды, а не минуты. Если процесс высыхания затягивается, это создает условия для появления загрязнений.
Но есть и недостаток: высокая температура может привести к поломке тонких фильмов на поверхности датчиков. Все зависит от правильного регулирования температуры.
Кварц и проблема «отходов»
Чтобы все оставалось стабильным, нити обогревателей помещаются в кварц высокой чистоты. Это единственный способ справиться с большими перепадами температур, не допуская деформации пластин.
Также нити покрываются специальным слоем. Это позволяет направить энергию именно на пластину, а не на стены камеры. Таким образом тепло остается там, где нужно. Кроме того, мы используем стандартные соединители, что позволяет легко заменять их при ремонте.
Никаких ошибок!
В чистой комнате один лишь электрический разряд может уничтожить всю партию пластин. Поэтому мы не рискуем. Каждый обогреватель проходит тесты на изоляцию и устойчивость к электрическому напряжению. Мы доводим их до максимальных значений напряжения, чтобы исключить любые утечки. Ошибки на практике недопустимы.
Ещё один совет: убедитесь, что мощность источника питания соответствует импедансу обогревателя. Если это не так, возможны проблемы с работой обогревателя или его быстрое износ.