Het maximale uit de warmte voor het wassen van wafers halen
Tijdens het wassen van wafers is de grootste uitdaging meestal de warmte die wordt gegenereerd. Je hebt warmte nodig om deze precies op het oppervlak van de wafers te richten. Maar meestal wordt er alleen energie verspild aan het opwarmen van het chassis van de machine. Dat is frustrerend.
Om dit op te lossen, gebruiken we waterdichte infraroodlampen in combinatie met goudcoateerde reflectoren. Het doel is eenvoudig: voorkomen dat energie verloren gaat en deze precies daarheen leiden waar ze nodig is.
Waarom goud?
De meeste mensen gebruiken aluminiumreflectoren, maar deze nemen te veel energie op. Goud is anders: het is uitstekend in staat om infraroodgolven terug te kaatsen.
Stel je voor dat het verschil is tussen een zwakke lichtstraal en een laserstraal. In plaats van een brede, verspillende uitstraling van warmte, stuurt de gouden laag de energie rechtstreeks naar het silicium. Hierdoor bereik je sneller de gewenste temperatuur, zonder dat je de spanning hoeft te verhogen. Het is gewoon efficiënter.
Omgaan met het vuil
Laten we eerlijk zijn: reinigingsstations zijn nat. Als water in de elektronica terechtkomt, stopt alles. We hebben deze lampen zo ontworpen dat ze bestand zijn tegen vocht. De afsluitingen zijn goed, zodat water niet bij de elektroden kan komen. Hierdoor hoef je je geen zorgen te maken over kortsluitingen middenin een productieproces. Dat geeft je wat meer rust.
Een paar dingen om in de gaten te houden
Omdat de warmte zo geconcentreerd is, moet je goed opletten waar de lampen zich bevinden. Als ze te dichtbij staan, kunnen de randen van de wafers beschadigen. Ik raad aan om wat extra tijd te besteden aan het kalibreren van de afstand tussen de reflectoren en het substraat, zodat je geen last hebt van hete plekken. Zorg er ook voor dat je koelsysteem de extra warmtestroom aankan.
Het beste van alles? Deze lampen kunnen eenvoudig worden vervangen. Je kunt je oude IR-lampen vervangen, waardoor je minder energie verbruikt en minder moet betalen voor de elektriciteitsrekening. Zorg er wel voor dat je stroomvoorziening voldoende vermogen heeft, zodat de lampen niet te vroeg kapotgaan.