Hoe voorkom je dat er gevaar ontstaat wanneer je infraroodlampen in contact komen met explosieve chemicaliën?
Wanneer je halfgeleiders schoonmaakt, ga je letterlijk met vuur spelen. Die oplosmiddelen zijn brandbaar, en in sommige gevallen zelfs explosief. Als je een gewone infraroodlamp in deze omgeving gebruikt, creëer je feitelijk een risico op een ramp.
Daarom gebruiken we infraroodlampen met een gouden laagje. Deze lampen zijn speciaal ontworpen voor zulke risicovolle omgevingen, zodat je de wafers kunt verwarmen zonder bang te hoeven zijn dat alles gaat ontploffen.
Waarom goud?
Het gaat niet om het uiterlijk. We leggen een dunne laag goud op de kwartsbuis, zodat deze als spiegel fungeert. Hierdoor wordt de infraroodenergie richting de wafer gestuurd, zodat deze niet naar buiten kan lekken. Dit betekent dat je sneller de gewenste temperatuur bereikt. Er is echter één nadeel: omdat de lamp zoveel energie produceert, wordt deze erg heet. We gebruiken hoogzuiver kwarts, zodat de lamp niet meteen kapotgaat zodra je hem aanzet.
Omgaan met het risico van explosies
Het echte probleem is de lucht. Chemische dampen kunnen gevaarlijk zijn. Als ze in contact komen met een hete oppervlakte of een kleine elektrische vonk, kan dat tot een explosie leiden.
Om dit te voorkomen, wikkelmen we de lampen in gespecialiseerd kwarts- of saffierglas. We sluiten ze goed af, zodat de gevaarlijke gassen niet naar buiten kunnen en de inertgassen wel binnen blijven. We gebruiken ook sterke onderdelen die het hoge temperatuurniveau aankunnen. Als de afsluiting faalt, wordt de lamp een soort ‘blokker’. Daarom passen we de behuizing aan op de specifieke chemicaliën die je gebruikt.
De nadelen
Het zijn geen lampen die je zomaar kunt gebruiken. Omdat ze in glas zijn verpakt, zijn ze groter en zwaarder dan gewone lampen. Je kunt ze niet zomaar in je bestaande installaties plaatsen. Je moet de bevestigingsonderdelen aanpassen. Verder moet je goed opletten bij de koeling. Als de ventilatoren niet voldoende lucht verplaatsen, kan er veel hitte ontstaan in de behuizing, waardoor de levensduur van de lamp korter wordt.
Het vereist wat meer planning, maar het is toch een stuk beter dan de alternatieven.