Het juiste temperatuurniveau bereiken in semi-fabrieken
Als je ooit met wafers hebt gewerkt, weet je hoe vervelend het kan zijn als ze vervormen of vervuild raken. Meestal komt dit door één ding: de temperatuurregulatie.
Om dit op te lossen gebruiken we infrarode lichten in combinatie met gouden reflectoren. Het doel is eenvoudig: de warmte precies daarheen brengen waar het nodig is, zodat er geen energie meer wordt verspild aan het opwarmen van de rest van de ruimte.
Waarom goud?
De meeste mensen beginnen met aluminium, maar dat heeft een nadeel: aluminium neemt te veel energie op. Goud is anders; het weerkaatst maar liefst 98% van de infrarode straling. In plaats van dat de warmte in de lamp zelf terechtkomt, krijg je een gerichte straal. Dat is een voordeel: je kunt de vermogenssterkte van de lampen verlagen, terwijl je toch de gewenste temperatuur behoudt.
Het concept van de “groene fabriek”
We horen allemaal over koolstofneutraal produceren, maar in een fabriek betekent dit eigenlijk dat er minder kilowatturen per wafer worden gebruikt. Als je overgaat op gouden reflectoren, bespaar je niet alleen energie bij de lampen, maar maak je het ook gemakkelijker voor het HVAC-systeem. Er lekt minder warmte de schone ruimte in, zodat het climasysteem niet extra hard hoeft te werken om de temperatuur onder controle te houden.
De nadelen (Het “wees voorzichtig”-deel)
Goud is inderdaad geweldig, maar het vereist wel veel onderhoud. Gebruik geen schurende reinigingsmiddelen op het oppervlak van de reflectoren. Eén verkeerde beweging en de coating raakt beschadigd, waardoor de reflectiviteit afneemt. Houd een strikt schoonmaakschema aan, zodat er geen stof op het oppervlak kan liggen. Als de reflectoren vies worden, zal de warmte zich verspreiden, waardoor er hete en koude plekken op de wafers ontstaan.
Nog een tip: let goed op de spanning. Spanningspieken kunnen de buizen in de lampen snel beschadigen. Zorg er ook voor dat de controlesystemen goed kunnen omgaan met de snelheid van de kortegolf-infraroodstraling. Als ze te langzaam zijn, kan de temperatuur te snel stijgen, voordat het systeem er überhaupt erg in heeft.