Op de productievloer kan een temperatuurschommeling van 0,2°C tijdens het verhitten van de wafer de gewenste nauwkeurigheid en kwaliteit van het eindproduct negatief beïnvloeden. In RTP-systemen is de lamp niet alleen een bron van warmte – ze is ook cruciaal voor de thermische uniformiteit en herhaalbaarheid.
Wij maken halogeenlampen voor RTP-systemen met zeer precieze spectraalkontrol en snelle respons. De geometrie van de filamenten, het kwartsomhulsel en de reflectoren zijn allemaal zo geselecteerd dat er een stabiele hete zone ontstaat, waarin de temperatuur op het niveau van de wafer rond de ±0,1°C blijft. De uitgangstemperatuur blijft constant, zelfs na duizenden cycli. Hierdoor verandert het cruciale thermische budget niet van lading tot lading. De constructie is geschikt voor gebruik in een schone ruimte; er worden materialen gebruikt die weinig gas afgeven en waarbij de concentratie van deeltjes minimaal is, zodat er geen contaminatie optreedt.
Bij lithografie zijn precieze temperatuurprofielen nodig om de juiste dimensies en hoeken van de wanden van de wafer te behouden. Onze lampen zorgen ervoor dat de hete zone snel wordt bereikt, de opwarmtijd wordt verkort en er minder thermische schommelingen optreden. Hierdoor blijft het gedrag van het fotoresistent consistent van lading tot lading, zijn er minder herwerkingen nodig en kan de precisie van de afmetingen worden gegarandeerd. De energieverbruik neemt af, omdat de lamp alleen dan wordt verhit wanneer dit nodig is, met minimale verliezen. De lamp is ontworpen voor 24/7 gebruik, zodat er minder ongeplande stilstand is.
Hier is de realiteit met halogeenlampen: ze reageren snel, maar er is wel een stabiele stroomvoorziening en goede koeling nodig om de gewenste temperatuur van ±0,1°C te behouden. Pas de lamp aan op de geometrie van de kamer en controleer goed of de lamp compatibel is met uw RTP-controller. De levensduur van de filamenten is beperkt; plannen Sie daarom regelmatige vervangingen die passen bij het volume van uw productie. Behandel de lamp als een gekalibreerd onderdeel, en niet als een wegwerpproduct. Op deze manier blijft het thermische proces onder controle.