실제로 중요한 곳에 더 많은 열을 공급하는 방법: 금 도금된 트윈 튜브 램프
웨이퍼 제조 작업을 할 때는 에너지 낭비와 싸우는 셈입니다. 실리콘 표면에 정확한 온도를 유지해야 하지만, 대부분의 경우 열이 그냥 새어나가버립니다.
일반적인 석영 램프들이 이 문제의 원인입니다. 석영 램프는 열을 사방으로 방출하기 때문에 혼란스러운 상황이 생깁니다. 그래서 우리는 금 도금된 트윈 튜브 램프를 사용합니다. 금층이 열을 필요한 곳으로만 보내주기 때문에 에너지가 헛되이 낭비되지 않습니다.
왜 금인가?
금은 적외선을 반사하는 능력이 뛰어납니다. 반사판에 얇은 금층을 추가함으로써 램프의 외부가 열을 흡수하는 것을 막을 수 있습니다. 그 결과 기계의 프레임이 불필요하게 뜨거워지는 것을 방지할 수 있습니다. 금층 덕분에 모든 와트의 에너지가 실제로 웨이퍼에 전달됩니다.
트윈 튜브의 장점
트윈 튜브 구조 덕분에 공간을 더 차지하지 않으면서도 가열 면적을 두 배로 늘릴 수 있습니다. 이는 큰 장점입니다. 더 높은 와트수를 사용해도 석영 커버가 녹는 걱정을 할 필요가 없습니다. 또한, 열이 더 균등하게 분배되어 단일 요소로 구성된 시스템에서 발생하는 “차가운 부분” 같은 문제도 없습니다.
주의사항
이러한 고강도의 열은 주의가 필요합니다. 만약 냉각 팬이 제대로 작동하지 않으면 램프의 수명이 짧아집니다. 튜브의 끝부분이 과열되면 석영이 결국 깨질 수 있습니다. 램프를 잘 냉각시키면 문제없이 사용할 수 있습니다.
시스템에 설치하는 방법
이 램프들은 간단하게 교체할 수 있도록 설계되었습니다. 길이와 커넥터의 정렬에 특별히 신경을 썼습니다. 아무도 오후 내내 전선을 다시 연결하는 일을 하고 싶어하지 않으니까요.
설치할 때 몇 가지 팁을 드리자면, 전원 공급 장치가 텅스텐 필라멘트에서 발생하는 초기 전류를 감당할 수 있는지 확인하세요. 또한 금 도금층이 손상되지 않도록 주의해야 합니다. 클린룸에서 금 도금층이 벗겨지는 것은 정말 최악의 상황입니다.