웨이퍼 처리를 위한 고정밀 적외선 램프
상상해 보세요: 웨이퍼 생산이 한창인데, 갑자기 램프가 고장 나버립니다. 이는 단순한 중단에 그치지 않고, 전체 생산 공정이 마비될 수도 있습니다. 오염이 곳곳으로 퍼져나가면서 전체 생산 시설이 멈출 위험이 있습니다.
우리는 이러한 악몽을 막기 위해 고정밀 적외선 램프를 개발했습니다. 우리의 목표는 강력하고 제어 가능한 열을 제공함과 동시에 웨이퍼가 항상 깨끗하게 유지되도록 하는 것입니다.
출력과 크기: 극한의 조건을 견딜 수 있도록 설계됨
이 램프들은 웨이퍼 처리에 필요한 극심한 열적 요구사항을 충족시키도록 설계되었습니다. 산업용 전력 시스템에 맞게 400V 입력을 채택했습니다. 그 결과, 배선에 가해지는 부담이 줄어들고, 긴 거리에서도 전압 강하가 적어집니다. 따라서 램프가 최대 출력 상태에서도 안정적인 성능을 발휘할 수 있습니다.
또한 300mm 직경의 튜브와 2500W의 출력 덕분에 작은 공간에서도 강력한 열을 얻을 수 있습니다. 그래서 가열 영역을 줄여도 생산 속도가 느려지지 않습니다.
안전성: 신뢰할 수 있는 안전 기능
램프 내부에는 석영에 넣어진 단파 할로겐 소자가 사용됩니다. 이를 통해 빠른 시작 및 정밀한 온도 제어가 가능해집니다. 이는 웨이퍼의 손상을 방지하는 데 매우 중요합니다.
더욱 중요한 것은 석영 커버에 내폭층이 적용되어 있다는 점입니다. 만약 압력이 실패하더라도, 이 코팅이 파편들을 막아줍니다. 그래서 방 안에 파편이 튀는 일이 없으며, 안심할 수 있습니다.
R7s 커넥터는 높은 전류를 처리할 수 있으며, 진동에도 강한 고정 장치가 있어서 과열이나 조기 고장이 발생하지 않습니다.
실제 성능: 예상치 못한 문제 없음
생산 현장에서 이 램프는 램프 고장으로 인한 오염 위험을 해결하는 데 훌륭한 해결책입니다. 높은 처리량을 위해 필요한 열 밀도를 얻을 수 있지만, 반대로 냉각 시스템도 충분해야 합니다. 냉각이 제대로 되지 않으면 높은 열 밀도로 인해 주변 온도가 상승하여 램프의 수명이 단축됩니다.
이 램프는 정밀한 웨이퍼 가열에 필요한 열적 및 안전적 요구사항을 충족시킬 수 있는 완벽한 솔루션입니다.