工場内での炭素排出を削減するために：なぜ赤外線加熱が最適なのか
クリーンルームで作業したことがある人なら、その厳しさがわかるでしょう。正確な温度管理が必要ですが、わずかなほこりでも製品の品質を損ねてしまいます。多くの人は従来の加熱方式を使いますが、それはまるで、ピザを温めるためだけに家全体を暖めるようなものです。全く無駄な行為です。
だからこそ、私たちは赤外線ランプを使用します。大量の空気を温めるのではなく、赤外線は放射によってエネルギーを直接対象物に送り込みます。これは、熱に対する考え方自体を根本的に変えるものであり、ここでこそ真の炭素削減が実現されます。
無駄なエネルギー消費をやめよう
従来のオーブンは、ウェハーが何の影響も受ける前に、壁や空気、筐体まですべてを温めてしまいます。一方、私たちの赤外線システムは、ウェハーや基板に直接エネルギーを与えます。エネルギーが集中するため、1枚のウェハーあたりに必要なキロワット数が大幅に削減されます。さらに、このシステムは急速に温度上昇します。短い加熱時間のおかげで、プロセスのタイムラグが減少し、エネルギー消費も低下します。実際、これは非常に効率的な方法です。
クリーンルームでの細かい注意点
汚染は、私たちが避けたい最大の問題です。清潔を保つために、高純度の石英製のケースを使用します。そうすれば、ガスが漏れ出たり、予期せぬ問題が起きることはありません。また、熱を移動させるためにファンや強制送風装置を使う必要がないため、粒子が舞い上がる心配もありません。
ただし、これらの装置を設置する際には、電源に注意が必要です。高出力の赤外線ランプは多くの電流を消費します。古い設備を改造する場合は、ブレーカーが飛ぶことがないように十分にチェックしてください。また、熱が筐体内に戻ってセンサーの読み取り値に影響を与えないようにも注意が必要です。些細なことですが、エンジニアにとっては大きな問題になり得ます。
実際に「グリーン」な目標を達成する
私たちは「グリーン工場」についてよく話しますが、それは単なる報告書上の話に過ぎません。しかし、赤外線加熱を採用することで、実際に成果が得られます。巨大な炉を数時間も稼働させて温め続ける必要はありません。必要な時だけ熱を供給できるのです。これにより、設備の規模が小さくなり、HVACシステムへの負担も大幅に軽減されます。エネルギーと製品の比率を見ると、生産量を犠牲にすることなく、炭素中和の目標を達成できるのです。