ウエハの洗浄における熱の有効活用
ウエハを洗浄する際、最も悩ましいのはやはり熱の問題です。ウエハの表面に均一に熱が届くようにしなければなりませんが、実際には多くの場合、装置のケースを温めるだけでエネルギーが無駄になってしまいます。これは本当に厄介です。
この問題を解決するために、私たちは防水性のある赤外線ランプと、金でコーティングされた反射板を組み合わせて使用しています。目的は単純です。エネルギーが漏れ出さないようにし、必要な場所にだけエネルギーを送り込むのです。
なぜ金なのか？
一般的にはアルミニウム製の反射板が使われますが、これらは過剰なエネルギーを吸収してしまいます。一方、金は赤外線を効果的に反射する特性を持っています。
これは、薄暗い照明とレーザーの違いに似ています。広範囲に熱が散逸するのではなく、金の層がエネルギーをシリコン表面へと直接送り込みます。その結果、目標の温度に到達するのが早くなり、電圧を上げる必要もありません。つまり、より効率的なのです。
水分対策
現実的に言えば、洗浄ステーションは湿気が多い場所です。水が電子部品に入ってしまうと、すべてが停止してしまいます。そのため、私たちはこのランプを開発したのです。密封性が高く、水が電極に届かないようになっているので、高出力での処理中に短絡が起こる心配もありません。これにより、安心して作業できます。
注意点
熱が集中するため、ランプの位置には少し注意が必要です。もし距離が近すぎると、ウエハの端が焼けてしまう可能性があります。そのため、反射板と基板との距離を適切に調整することが大切です。また、チャンバーの壁面から反射される余分な熱に対して、冷却システムが対応できるかも確認してください。
最良の点は、これらが既存のIR装置の交換用として使えることです。古いIR装置を交換することで、熱の発生を減らし、電気代も節約できます。ただし、電源のワット数が合っているか必ず確認してください。そうしないと、ランプが早く壊れてしまう可能性があります。