Mengeringkan Wafer MEMS Tanpa Masalah
Mengeringkan wafer sensor MEMS merupakan proses yang membutuhkan kehati-hatian ekstra. Cairan pembersih perlu dihilangkan dengan cepat, tetapi jika tidak berhati-hati, akan timbul noda air atau bahkan kerusakan mekanis yang merusak seluruh wafer tersebut.
Itulah sebabnya kami menggunakan pemanas inframerah yang dirancang khusus untuk tujuan ini. Pemanas ini tidak hanya menghangatkan udara, tetapi juga langsung memanaskan permukaan wafer. Dengan demikian, kelembapan dapat dihilangkan sebelum tegangan permukaan menyebabkan kerusakan pada struktur MEMS yang rapuh tersebut.
Aspek suhu
Kami menggunakan daya yang tinggi per inci linear. Mengapa? Karena kita ingin wafer tersebut mencapai suhu penguapan dalam hitungan detik, bukan menit. Jika proses pengeringan berlangsung terlalu lama, maka wafer tersebut akan mudah terkontaminasi.
Namun, kekuatan panas yang tinggi juga memiliki efek negatif. Kita perlu berhati-hati dalam menyesuaikan suhu. Jika suhu naik turun secara tiba-tiba, membran tipis pada sensor akan rusak. Semuanya tergantung pada pola peningkatan suhu tersebut.
Kwarsa dan masalah “limbah”
Untuk menjaga stabilitas, kami menggunakan kwarsa berkualitas tinggi sebagai bahan pembuat filamen pemanas. Ini adalah satu-satunya cara untuk mengatasi fluktuasi suhu yang ekstrem tanpa menyebabkan kerusakan pada wafer.
Kami juga melapisi filamen tersebut. Hal ini membantu memindahkan spektrum energi agar energi tersebut benar-benar mengenai wafer, bukan hanya menghangatkan dinding ruangan. Dengan begitu, panas tetap berada di tempat yang seharusnya. Selain itu, kami menggunakan konektor standar, sehingga saat perlu dilakukan perawatan, konektor tersebut dapat diganti dengan mudah.
Tidak ada ruang untuk kesalahan
Di ruang bersih, adanya arus listrik yang tidak terkendali merupakan bencana. Arus listrik tersebut dapat merusak seluruh wafer dalam sekejap.
Oleh karena itu, kami tidak membiarkan hal tersebut terjadi. Setiap pemanas yang dikirim oleh kami harus lolos uji ketahanan dielektrik dan resistansi isolasi sebesar 100%. Kami juga menguji pemanas tersebut hingga batas tegangan maksimumnya, agar tidak ada kebocoran arus. Kegagalan saat penggunaan sama sekali tidak diterima.
Satu tips lagi: pastikan bahwa suplai daya yang digunakan sesuai dengan impedansi pemanas. Jika tidak, kinerja pemanas akan menurun, atau filamen pemanas akan cepat rusak.