MEMS वेफरों को बिना किसी समस्या के सूखाना
MEMS सेंसर वेफरों को सूखाना काफी कठिन कार्य है। ऐसी स्थिति में रिन्स लीक्विड को जल्दी से गायब करना आवश्यक है; लेकिन अगर सावधानी न बरती गई, तो पानी के धब्बे या यहाँ तक कि यांत्रिक तनाव भी पैदा हो सकता है, जिससे पूरा बैच नष्ट हो सकता है।
इसीलिए हम ऐसे इन्फ्रारेड हीटरों का उपयोग करते हैं जो इस काम के लिए ही विशेष रूप से डिज़ाइन किए गए हैं। ये हीटर हवा को गर्म करने के बजाय सीधे वेफर की सतह को गर्म करते हैं। इससे सतही तनाव के कारण MEMS संरचनाओं को नुकसान पहुँचने से बचा जा सकता है।
ऊँचा तापमान
हम उच्च वाटेज का उपयोग करते हैं। क्यों? क्योंकि हम चाहते हैं कि वेफर का तापमान कुछ ही सेकंड में वाष्पीकरण तापमान तक पहुँच जाए, न कि मिनटों में। अगर सूखने की प्रक्रिया धीमी रहे, तो संदूषण फैलने का खतरा रहता है।
लेकिन ऊँचा तापमान एक दोधारी तलवार है… इसका उपयोग समझदारी से ही करना आवश्यक है। अगर तापमान में अचानक परिवर्तन हो, तो सेंसरों पर मौजूद पतली परतें टूट सकती हैं।
क्वार्ट्ज एवं “अपशिष्ट” समस्या
चीजों को स्थिर रखने हेतु, हम फिलामेंटों को उच्च शुद्धता वाले क्वार्ट्ज में रखते हैं। ऐसा करने से ही तापमान में होने वाले उतार-चढ़ावों से बचा जा सकता है।
हम फिलामेंटों पर कोटिंग भी लगाते हैं… इससे ऊर्जा सीधे वेफर पर ही पड़ती है, न कि कक्ष की दीवारों पर। इससे ऊष्मा वहीं रहती है जहाँ उसे होना चाहिए। इसके अलावा, हम मानक कनेक्टरों का उपयोग करते हैं… इससे रखरखाव के समय उन्हें आसानी से बदला जा सकता है।
“गलती” का कोई रास्ता नहीं
क्लीनरूम में एक ही विद्युत आवेश भी बहुत बड़ी समस्या हो सकता है… यह पूरे बैच के वेफरों को नष्ट कर सकता है।
इसीलिए हम कोई जोखिम नहीं लेते… हमारे द्वारा भेजे गए हर हीटर की 100% डाइइलेक्ट्रिक परीक्षण एवं इंसुलेशन प्रतिरोध परीक्षण किया जाता है। हम उन्हें उनकी अधिकतम वोल्टेज सीमा तक ले जाते हैं, ताकि कोई लीकेज न हो।
एक और सलाह: अपने पावर सप्लाई को हीटर के इम्पीडेंस के अनुरूप रखें… अगर वे मेल न हों, तो या तो प्रदर्शन खराब हो जाएगा, या फिलामेंट जल्दी ही नष्ट हो जाएँगे।