בקו הייצור, שינוי של 0.5°C בטמפרטורה של הפלטה החמה במהלך תהליך האפייה של הפוטורזיסט, יכול לפגוע קשות בשליטה ברוחב הקווים – דבר שעלול להפוך את המוצר הסופי לחסר תועלת. יש צורך במדידת טמפרטורה שתעקוב אחר הערך המוגדר, ולא אחר הנקודות החמות ביותר של החימום.
מה חשוב מבחינה טכנית? אנו מייצרים תרמוקפלים לחימום של שבבים, כדי לשמור על אחידות טמפרטורית ברמת הוואפר בטווח של ±0.1°C. נקודת המדידה נמצאת במקום שבו הוואפר באמת חווה את הטמפרטורה, ולא במקום שבו נמצא החימום.
המערכת מיועדת לחדרי ניקיון מסוג Class 1–100: היא לא יוצרת חלקיקים, והיא עמידה בפני סיבובים תרמיים חוזרים. הפלט של המערכת נשאר יציב גם במהלך פעולה 24/7, מה שמאפשר למנוע זמני עצירה בלתי צפויים ואפשר לתכנן את זמני התחזוקה בצורה טובה יותר.
למה זה עובד בתהליך הליתוגרפיה? בתהליך הליתוגרפיה, יש צורך בשליטה קפדנית בטמפרטורה במהלך תהליך האפייה. התרמוקפלים שלנו שומרים על אחידות טמפרטורית גבוהה, מה שמפחית את השינויים ברוחב הקווים, משפר את איכות הפוטורזיסט, ומפחית את כמות החומרים החסרי תועלת.
שליטה טובה יותר גם מקצרת את זמני האימות, ומפחיתה את צריכת האנרגיה על ידי מניעת עליות יתר בטמפרטורה. התוצאה היא תשואה גבוהה יותר, פחות עבודות תיקון, וזמן פעולה ארוך יותר של הציוד.
מה צריך לעשות כדי שהכל יעבוד כראוי? יש צורך בדיוק גבוה בהתקנה: החיישן צריך להיות ממוקם בעומק הנכון ולהיות מיושר עם מישור הוואפר. אי-יישור או חיבור לא טוב עלולים לפגוע באחידות הטמפרטורית ולגרום לשינויים בטמפרטורה.
המערכת עובדת עם רוב פלטפורמות החימום, אך לעתים יש צורך במסגרות וחיבורים מיוחדים. יש לציין את מודל החימום ואת טווח הטמפרטורות הרצוי, כדי שנוכל לבחור את חומר המעטפת, הבידוד ועקומת הכיול המתאימים לצרכים שלכם.