על רצפת הייצור, שינויים בטמפרטורה לא מופיעים עם אור אזהרה. הם מופיעים כ-CDs המוסטות לאחר ריפוי רך, כבסיס על הפרופיל לאחר ריפוי קשה, וכפסולת המופיעה רק לאחר שהקבוצה כבר עברה דרך הפוטו-רזיסט והזמן. שליטה תרמית ברמת השבב אינה תוספת נחוצה. היא חלק מהתקציב של התהליך. מה שחשוב, טכנית בנינו את חימום המפעל סביב מודולים של NIR ואינפרא אדום באורך גל בינוני שנועדו למשמעת תרמית של חומרים חצי מוליכים. המטרה היא אחידות ברמת השבב של ±0.1°C—על פני ה-chuck ובמהלך ערימת הפוטו-רזיסט. המערכת פועלת בחדרים נקיים בדרגת Class 1–100, ואישרנו אפס יצירת חלקיקים באמצעות ניטור in-situ ובדיקות פגמים downstream. פרופילי ריפוי הפוטו-רזיסט בין ריצה לריצה נשארים ניתנים לחזרה כי המערכת התרמית מחזיקה יציבות בנקודת ההגדרה תחת עומס, גם כאשר קבוצות וגודל השבבים משתנים. יעד העיצוב הוא אמינות 24/7 עם אפס זמן השבתה לא מתוכנן, נתמך על ידי נתיבי שליטה כפולים ומודל בריאות למנורה/פולט. למה זה מחזיק בליתוגרפיה במודולים של טיולים וריפוי/ריפוי, החום צריך לענות לכימיה של הריסון, ולא להתמדה של מחמם. אחידות תרמית הדוקה מצמצמת את השונות ברוחב הקו ומגנה על ההצלבה על ידי שמירה על היסטוריית החום עקבית, שבב אחרי שבב. אפס יצירת חלקיקים שומרת על צפיפות הפגמים נמוכה היכן שזה חשוב—על השכבה המוסדרת. התועלת היא פחות קבוצות עבודה חוזרות, פחות החזקות הנדסיות, וזמן מחזור שמתנהג היטב. צריכת האנרגיה נשמרת גם היא, הודות לעליות מהירות ומבוקרו ושליטה מדויקת על השהייה. אתה מפחית את עלות החום לכל שבב מבלי לוותר על דיוק. מה שעליך לתכנן ההתקנה עוסקת בשילוב הדוק עם מודול הטיול או הריפוי: מרווחים מכניים, ניהול קירור וחשמל, ואסטרטגיית פליטה שמתאימה לחוקי החדר הנקי. המערכת פועלת בהתאם למפרט רק כאשר מצב ה-chuck וכיוונון המפ reflector נשמרים בלוח זמנים. תכנן ריצה קצרה של אישור. מיפה אחידות על פני השבב, אשרר את ספירות החלקיקים, ונעל את פרופיל הריפוי לפני שאתה מעביר אותו לייצור.