במפעלי הייצור, שינוי של 1°C במהלך תהליך החימום של הפוטורזיסט מספיק כדי לגרום לשינוי ברוחב הקווים – וזה אומר הרבה חומרים שצריך לזרוק. אין צורך לנסות לשלוט בטמפרטורה; יש לשמור עליה ברמה קבועה. ייצרנו את רכיבי החימום של ה-OEM כך שהשליטה תהיה על הוואפר עצמו, ולא רק על הערך המוגדר מראש.
מה חשוב באמת? הרכיב משתמש בגופים פולטי אינפרא-אדום בגלים קצרים, הממוקמים בתוך גוף מקוורץ. כך, קצב החימום מהיר, והשליטה בטמפרטורה מדויקת. הדבר החשוב ביותר הוא האחידות ברמת הוואפר: ±0.1°C בכל אזור הפעילה, כפי שנמדד במקום. הרכיב יכול לפעול בחדרי ניקיון מסוג Class 1–100, מבלי להוסיף חלקיקים, וזה מובטח על ידי מערכות מעקב בתוך החדר. השובריות של התוצאות נשארת בטווח של ±0.2%, גם במצבי פעולה 24/7. התגובה התרמית מותאמת במיוחד לתהליכי חימום שונים של הפוטורזיסט. ניתן להשתמש ברכיב זה עבור ואפרים בגודל 200/300 ממ, עם מתחים סטנדרטיים, והממדים שלו מתאימים למכשירי ה-OEM.
למה הוא עובד טוב בייצור? בתהליכי ליתוגרפיה ואריזה, הרכיב הזה שומר על הפרופילים של תהליך החימום, כך שאין צורך לעשות עבודות תיקון. האחידות הגבוהה מפחיתה את השגיאות בין הוואפרים השונים, וזה משפר את היבילות בתהליכי ייצור. המחזורים של החימום מהירים ויציבים, מה שמקצר את זמן העבודה על כל לוט. העיצוב של הרכיב מתאים לחדרי ניקיון, כך שיש פחות חלקיקים – פחות צורך בניקוי ופחות אזעקות. צריכת האנרגיה מושפרת בזכות התאמה מדויקת של הגופים הפולטים והמסה התרמית הנמוכה, מה שמוריד את העלויות לכל ואפר. כאשר צריך להחליף את הרכיב, ניתן לעשות זאת מבלי לפרק את חדר הייצור, כך שיש פחות זמן עצירה בלתי צפוי.
על מה צריך לשים לב? יש צורך בשקעים מתאימים ובחסימה טובה, כדי שהחום העודף לא יפגע בעדשות ובחומרים השונים. יש צורך בתקופת התחממות לפני שניתן להגיע לרמת האחידות הרצויה – יש לתכנן זאת במסגרת התחזוקה השוטפת. לצורך יציבות מיטבית, יש לשמור על המתחים המוגדרים ולשלוט בטמפרטורת הסביבה. אנו תומכים בשילוב הרכיב עם פלטפורמות OEM מובילות, אך יש לבדוק את החיבורים, ההתקנה ומערכות הקירור עם צוות הציוד שלכם לפני השימוש.