Sécher les wafer de capteurs MEMS sans problèmes
Sécher les wafer de capteurs MEMS est une tâche délicate. Il est nécessaire que le liquide utilisé pour le rinçage s’évapore rapidement. Mais si l’on n’est pas prudent, on risque d’obtenir des taches d’eau sur les wafer – ou pire encore, des contraintes mécaniques qui endommageront tout le lot.
C’est pourquoi nous utilisons des chauffages infrarouges conçus spécialement pour cet usage. Au lieu de simplement chauffer l’air, ces appareils ciblent directement la surface du wafer. Cela permet d’éliminer l’humidité avant que la tension superficielle ne puisse endommager les structures délicates des capteurs MEMS.
L’aspect thermique
Nous privilégions des puissances élevées par pouce linéaire. Pourquoi ? Parce qu’il faut que le wafer atteigne la température d’évaporation en quelques secondes, et non en minutes. Si le processus de séchage prend trop de temps, cela favorise l’apparition de contaminants.
Mais il y a un inconvénient : une forte densité thermique peut être dangereuse. Il faut donc gérer soigneusement l’augmentation et la diminution de la température. Sinon, les membranes fines des capteurs risquent de se briser. Tout dépend donc de la manière dont on régule la température.
Le quartz et le problème des “déchets”
Pour maintenir la stabilité, nous utilisons du quartz de haute pureté pour abriter les filaments. C’est le seul moyen de faire face aux grandes variations de température sans que les composants ne se déforment.
Nous recouvrons également les filaments d’un revêtement. Cela permet de diriger l’énergie vers le wafer, plutôt que de simplement réchauffer les parois de la chambre. De plus, nous utilisons des connecteurs standards, ce qui permet de les remplacer facilement en cas de besoin.
Aucune place pour les erreurs
Dans une salle propre, un simple arc électrique peut être désastreux. Il peut détruire tout un lot de wafer en un instant.
C’est pourquoi nous ne prenons aucun risque. Chaque chauffage que nous livrons subit des tests de résistance diélectrique à 100 %. Nous le soumettons à ses limites de tension absolues pour garantir qu’il n’y ait aucune fuite. Une panne en cours d’utilisation n’est tout simplement pas envisageable.
Un dernier conseil : assurez-vous que vos sources d’alimentation correspondent à l’impédance du chauffage. Sinon, vous risquez soit des performances insuffisantes, soit une usure prématurée des filaments.