Dans l’usine de fabrication, une déviation de 0,5 °C sur la plaque chauffante pendant le processus de cuisson du photosensible est suffisante pour ruiner le contrôle de la largeur des lignes et transformer une production en déchets. Il est donc nécessaire d’avoir un système de mesure de température qui suive précisément la valeur cible – et non les points chauds du chauffage.
Ce qui est important sur le plan technique Nous concevons des thermocouples pour les chauffages destinés aux semi-conducteurs, afin de maintenir une uniformité thermique au niveau de la wafer dans une fourchette de ±0,1 °C, ainsi qu’une répétabilité constante d’un lot à l’autre. Le point de mesure se trouve là où la wafer ressent réellement la température, et non là où se trouvent les points chauds du chauffage.
L’assemblage est conçu pour fonctionner dans des salles propres de classe 1–100 : il ne génère pas de particules et résiste aux cycles thermiques répétés. La sortie reste stable même en conditions de fonctionnement 24/7, ce qui permet d’éviter toute panne imprévue et de planifier correctement les interventions de maintenance.
Pourquoi cela fonctionne bien en lithographie En lithographie, le module de cuisson doit atteindre les températures nécessaires de manière précise. Nos thermocouples permettent de maintenir un profil thermique stable, ce qui réduit les variations de la largeur des lignes, améliore la qualité du photosensible et diminue les déchets.
Un contrôle plus précis permet également de raccourcir les cycles de qualification et de réduire la consommation d’énergie, en évitant les excès de température. Les avantages sont donc une meilleure productivité, moins de travaux de révision, et une disponibilité du matériel prévisible.
Ce qu’il faut respecter pour que ça fonctionne bien Les tolérances d’installation sont très strictes : la sonde doit être placée à la profondeur indiquée et alignée par rapport au plan de la wafer. Tout désalignement ou mauvais contact thermique peut nuire à l’uniformité thermique et provoquer des erreurs de mesure.
Le système fonctionne avec la plupart des plateformes de chauffage, mais des adaptations peuvent être nécessaires pour certains cas. Veuillez spécifier le modèle du chauffage ainsi que la plage de température de votre processus, afin que nous puissions choisir le matériau approprié pour l’enveloppe, l’isolation et la courbe de calibration, en fonction de votre profil thermique.