کنترل دقیق دما در فرآیند تولید نیمهساختهها
اگر تا به حال با ویفرها کار کردهاید، میدانید که انحنای سطح ویفرها یا آلودگی آنها چقدر مشکلساز است. مشکل اصلی، کنترل دماست.
برای رفع این مشکل، از لامپهای مادون قرمز به همراه بازتابندههای طلا استفاده میکنیم. هدف ساده است: دما را دقیقاً در جایی که لازم است، تنظیم کرد و از هدر رفتن انرژی برای گرم کردن بخشهای دیگر اتاق جلوگیری کرد.
چرا طلا؟
بیشتر مردم از آلومینیوم برای این منظور استفاده میکنند، اما مشکل اینجاست که آلومینیوم انرژی زیادی را جذب میکند. طلا متفاوت است؛ حدود ۹۸٪ از تشعشعات مادون قرمز را بازتاب میدهد.
به جای اینکه گرما در بدنه لامپ نفوذ کند، پرتوی گرمایی متمرکزی تولید میشود. این روش، راه حلی عالی است؛ شما میتوانید توان لامپها را کاهش دهید، اما همچنان دمای مورد نظر را در سطح ویفر حفظ کنید.
دیدگاه «کارخانه سبز»
همه ما درباره بیاثر کردن اثرات کربنی صحبت میکنیم، اما در کارخانهها، این به معنای استفاده کمتر از کیلوواتساعت برای هر ویفر است.
وقتی از بازتابندههای طلا استفاده میکنید، نه تنها انرژی کمتری مصرف میشود، بلکه کار سیستم تهویه هوا نیز آسانتر میشود. گرمای کمتری وارد اتاق تمیز میشود، بنابراین سیستم کنترل دما نیازی به کار بیشتر ندارد.
معایب (نکاتی که باید در نظر گرفت)
طلا واقعاً عالی است، اما نگهداری آن کمی پیچیده است. هرگز از مواد تمیزکننده خشن برای تمیز کردن سطح طلا استفاده نکنید؛ یک بار تمیزکردن نادرست میتواند باعث خراشیدگی سطح طلا شود و باعث کاهش بازتابندگی آن شود. برنامهای برای تمیزکردن منظم داشته باشید تا گرد و غبار روی سطح طلا تجمع نکند. اگر بازتابندهها کثیف شوند، گرما در سطح ویفر پخش خواهد شد و منجر به ایجاد نقاط گرم و سرد روی سطح ویفر خواهد شد.
نکته آخر: مراقب میزان توان مصرفی لامپها باشید. افزایش ناگهانی ولتاژ میتواند به سرعت فیلامنتهای لامپ را از بین ببرد. همچنین، وقتی کابلکشی را انجام میدهید، مطمئن شوید که کنترلرها بتوانند با سرعت تشعشعات مادون قرمز همگام شوند؛ در غیر این صورت، دما قبل از اینکه سیستم متوجه شود، افزایش خواهد یافت.