In der Fertigungshalle führt eine Abweichung von 0,5 °C auf der Heizplatte während des Backvorgangs des Photoresists zu erheblichen Problemen – die Kontrolle der Linienbreite wird dadurch beeinträchtigt, und die Produkte sind unbrauchbar. Es ist daher notwendig, die Temperatur so genau wie möglich zu messen – und zwar an der Stelle, wo sich tatsächlich die Temperatur befindet, nicht an den heißesten Punkten des Heizers.
Was technisch wichtig ist:
Wir entwickeln Thermoelemente für Halbleiterheizer, damit die thermische Homogenität auf Waferebene bei ±0,1 °C bleibt. Zudem soll die Reproduzierbarkeit über verschiedene Chargen hinweg gewährleistet werden. Die Sensorkontakte befinden sich dort, wo die Wafer die Temperatur wahrnimmt – nicht dort, wo der Heizer am heißesten ist.
Das System eignet sich für Reinräume der Klassen 1–100: Es verursacht keine Partikelbildung und übersteht wiederholte Temperaturschwankungen. Die Ausgangstemperatur bleibt auch bei 24/7-Betrieb stabil – dadurch entstehen keine unplanmäßigen Stillstände, und die Wartungsintervalle sind vorhersehbar.
Warum das in der Lithografie funktioniert:
Im Rahmen des Backvorgangs muss der Heizer eine präzise Temperatur erreichen. Unsere Thermoelemente sorgen dafür, dass die Temperatur genau kontrolliert wird. Dadurch verringern sich die Schwankungen in der Linienbreite, die Qualität des Photoresists verbessert sich, und es entstehen weniger Ausschusswaren.
Eine bessere Kontrolle verkürzt außerdem die Qualifizierungszyklen und senkt den Energieverbrauch, indem Überhitzungen verhindert werden. Das Ergebnis sind höhere Erträge, weniger Nacharbeiten sowie eine planbare Betriebszeit der Anlagen.
Was man beachten muss:
Die Installationsgenauigkeit ist sehr hoch: Der Sensor muss in der vorgegebenen Tiefe installiert werden und muss parallel zur Waferfläche ausgerichtet sein. Fehlende Ausrichtung oder schlechter Wärmetransport führen zu Unregelmäßigkeiten in der Temperaturverteilung.
Das System funktioniert mit den meisten Heizerplattformen – doch bei Umbauten sind oft spezielle Halterungen und Anschlüsse erforderlich. Bitte geben Sie das Modell des Heizers sowie den gewünschten Betriebspunkt an, damit wir das Material der Isolierung sowie die Kalibrierungskurve entsprechend Ihrem Temperaturprofil wählen können.