Přestaňte plýtvat časem: Proč vaše výroba potřebuje infračervené záření místo horkého vzduchu
Pokud stále spoléháte na cirkulaci horkého vzduchu při hluboké úpravě povrchu waferů, v podstatě bojujete proti času.
Přemýšlejte o tom, jak funguje horký vzduch. Zahřejete vzduch a poté doufáte, že tento vzduch ohřeje wafer. Je to pomalý a neefektivní proces. Existuje také ten otravný zpoždění – termální „úzké místo“ – které snižuje vaši produktivitu.
Infračervené záření je jiné. Eliminuje potřebu prostředníka. Místo toho, abyste čekali na vzduch, působíte přímo na substrát pomocí elektromagnetického záření. Je to okamžité.
Problémy s termální reakcí
Každý, kdo pracoval s systémy s horkým vzduchem, zná problém „termální inercie“. Musíte čekat dlouhé doby na nastartování a ochlazení procesu. Když potřebujete přesnou teplotu pro chemickou reakci, horký vzduch prostě nestačí. Je příliš pomalý.
S infračervenými lampami dosáhnete požadované teploty během sekund. To vše změní. Váš výrobní proces se stane efektivnějším, protože wafer už nemusí čekat, dokud se komora konečně stabilizuje.
Úspora prostoru
Jednou z nejlepších vlastností je možnost ušetřit trochu prostoru. Nemusíte používat velké ventilátory a složité potrubí. Infračervené lampy mohou být umístěny přímo nad nebo pod wafer. Je to mnohem čistší a efektivnější řešení.
Ale existuje jeden problém. Intenzita tepla je velká. Pokud správně nenastavíte systém chlazení, budete mít problémy. Pokud vaše chladicí prvky nebudou schopny odvést nadbytečnou energii z okrajů waferu, vzniknou nerovnoměrné teplotní gradienty nebo další problémy.
Přechod na infračervené záření
Pokud plánujete vysokovýkonovou výrobu, je infračervené záření prakticky jediným řešením. Zkracuje dobu zpracování každého waferu.
Samozřejmě, musíte obměnit jednoduchou troubu za něco složitějšího. Budete muset strávit trochu času na nastavení PID regulátorů, abyste nepřekročili požadovanou teplotu. Vyžaduje to trochu trpělivosti na dokonalou kalibraci.
Ale jakmile to bude nastaveno správně? Počet waferů, které můžete zpracovat za hodinu, rozhodně stojí za tu námahu.