ঝামেলা ছাড়াই MEMS ওয়েফারগুলোকে শুকিয়ে নেওয়া
MEMS সেন্সর ওয়েফারগুলোকে শুকিয়ে নেওয়া বেশ কঠিন কাজ। ওয়েফারগুলো থেকে জল দ্রুত অপসারণ করা প্রয়োজন; কিন্তু যদি সাবধান না হওয়া হয়, তাহলে ওয়েফারগুলোতে জলের দাগ থেকে যেতে পারে, অথবা আরও খারাপ হলে যান্ত্রিক চাপের কারণে ওয়েফারগুলো নষ্ট হয়ে যেতে পারে।
এই কারণেই আমরা এই কাজের জন্য বিশেষভাবে তৈরি ইনফ্রারেড হিটার ব্যবহার করি। এগুলো বাতাসকে উত্তপ্ত করার পরিবর্তে সরাসরি ওয়েফারের পৃষ্ঠকে উত্তপ্ত করে। এর ফলে ওয়েফারের পৃষ্ঠে থাকা আর্দ্রতা দ্রুত অপসারিত হয়; ফলে MEMS কাঠামোগুলো নষ্ট হয় না।
উচ্চ তাপমাত্রা
আমরা প্রতি ইঞ্চিতে উচ্চ ওয়াটেজ ব্যবহার করি। কেন? কারণ ওয়েফারগুলোকে কয়েক মিনিটের মধ্যেই বাষ্পীভূত হওয়ার অবস্থায় নিয়ে যেতে হয়। যদি শুকানোর প্রক্রিয়া দীর্ঘ হয়, তাহলে ওয়েফারগুলো দূষিত হয়ে যেতে পারে।
কিন্তু উচ্চ তাপমাত্রা ব্যবহার করাও ঝুঁকিপূর্ণ। তাপমাত্রা কীভাবে নিয়ন্ত্রণ করা হবে সে বিষয়ে সাবধান থাকতে হয়। যদি তাপমাত্রা হঠাৎ বৃদ্ধি পায়, তাহলে সেন্সরগুলোর পাতলা ঝিল্লিগুলো ভেঙে যেতে পারে।
কোয়ার্টজ ও “বর্জ্য” সমস্যা
স্থিতিশীলতা বজায় রাখার জন্য আমরা ফিলামেন্টগুলোকে উচ্চ-বিশুদ্ধতার কোয়ার্টজে রাখি। এটাই তাপমাত্রার হ্রাস-বৃদ্ধি নিয়ন্ত্রণ করার একমাত্র উপায়।
আমরা ফিলামেন্টগুলোকে আরও সুরক্ষিত করার জন্য কোটিং দিই। এর ফলে শক্তি সরাসরি ওয়েফারে পৌঁছায়; চেম্বারের দেয়ালগুলো উত্তপ্ত হয় না। এছাড়া, আমরা স্ট্যান্ডার্ড কানেক্টর ব্যবহার করি; ফলে রক্ষণাবেক্ষণের সময় সহজেই কানেক্টরগুলো পরিবর্তন করা যায়।
“ভুল”-এর কোনো সুযোগ নেই
ক্লিনরুমে একটি ছোট্ট বৈদ্যুতিক শকই বিপর্যয় ডেকে আনতে পারে। এর ফলে সমস্ত ওয়েফারগুলো নষ্ট হয়ে যেতে পারে।
এই কারণেই আমরা কোনো ঝুঁকি নিই না। আমরা যেসব হিটার সরবরাহ করি, সেগুলো ১০০% ডাইইলেকট্রিক প্রতিরোধ ও ইনসুলেশন পরীক্ষা থেকে অতিক্রম করে। আমরা হিটারগুলোকে তাদের সর্বোচ্চ ভোল্টেজ সীমায় চালাই; যাতে কোনো লিকেজ না হয়। ফিল্ডে কোনো ত্রুটি হওয়া সম্ভব নয়।
আরেকটি টিপ: নিশ্চিত হয়ে নিন যে আপনার পাওয়ার সাপ্লাইটি হিটারের ইম্পিডেন্সের সাথে মেলে। যদি মেলে না, তাহলে হিটারটি ঠিকমতো কাজ করবে না, অথবা ফিলামেন্টগুলো দ্রুত নষ্ট হয়ে যেতে পারে।