ফ্যাব ফ্লোরে, তাপমাত্রার বিচ্যুতি সতর্ক সংকেত সহ প্রকাশ পায় না। এটি সফট বেকের পরে CD এর বিচ্যুতি, হার্ড বেকের পরে প্রোফাইলের উপর ভিত্তি হিসেবে এবং স্ক্র্যাপ হিসাবে প্রকাশ পায় যা শুধুমাত্র তখনই দেখা যায় যখন লটটি ইতিমধ্যে ফটোরেজিস্ট এবং সময়ের মাধ্যমে পুড়ে গেছে। ওয়েফার-স্তরের তাপ নিয়ন্ত্রণ একটি অতিরিক্ত বিষয় নয়। এটি প্রক্রিয়ার বাজেটের একটি অংশ।
যা প্রযুক্তিগতভাবে গুরুত্বপূর্ণ আমরা প্ল্যান্ট হিটিং নিকট-ইনফ্রারেড (NIR) এবং মধ্য-তরঙ্গ ইনফ্রারেড মডিউলগুলির চারপাশে তৈরি করেছি যা সেমিকন্ডাক্টর তাপ শৃঙ্খলার জন্য ডিজাইন করা হয়েছে। লক্ষ্য হল ±0.1°C ওয়েফার-স্তরের সমতা—চাক এবং ফটোরেজিস্ট স্তনের মধ্যে। এটি ক্লাস 1–100 ক্লিনরুমে চলে, এবং আমরা ইন-সিটু মনিটরিং এবং ডাউনস্ট্রিম ত্রুটি চেকের মাধ্যমে শূন্য কণার উৎপাদন নিশ্চিত করেছি।
রান-টু-রান ফটোরেজিস্ট বেক প্রোফাইলগুলি পুনরাবৃত্তিযোগ্য থাকে কারণ তাপীয় ব্যবস্থা লোডের অধীনে সেটপয়েন্ট স্থিরতা ধরে রাখে, এমনকি যখন ব্যাচ এবং ওয়েফার আকার পরিবর্তিত হয়। ডিজাইন লক্ষ্য হল 24/7 নির্ভরযোগ্যতা শূন্য অপ্রত্যাশিত ডাউনটাইম সহ, অতিরিক্ত নিয়ন্ত্রণ পথ এবং মনিটর করা ল্যাম্প/এমিটার স্বাস্থ্য মডেলের সমর্থন সহ।
লিথোগ্রাফিতে এটি কেন জরুরি ট্র্যাক এবং কোট/বেক মডিউলে, তাপকে প্রতিরোধের রসায়নের প্রতি সাড়া দিতে হবে, heater-এর জড়তার প্রতি নয়। সংক্ষিপ্ত তাপীয় সমতা লাইন-প্রস্থের পরিবর্তনশীলতা কমায় এবং ওভারলে রক্ষা করে তাপীয় ইতিহাসকে ধারাবাহিক রাখে, ওয়েফার পর ওয়েফার। শূন্য কণার উৎপাদন ত্রুটি ঘনত্বকে কম রাখে যেখানে এটি গুরুত্বপূর্ণ—প্যাটার্ন করা স্তরে।
ফলস্বরূপ কম রিওয়ার্ক লট, কম প্রকৌশল হোল্ড, এবং সাইকেল সময় যা স্বাভাবিক আচরণ করে। শক্তি ব্যবহারের ক্ষেত্রেও সংকীর্ণ থাকে, দ্রুত, নিয়ন্ত্রিত রাম্প এবং সঠিক ডওয়েল নিয়ন্ত্রণের জন্য ধন্যবাদ। আপনি সঠিকতা ছাড়াই প্রতি ওয়েফারের তাপমাত্রার খরচ কমিয়ে আনতে পারেন।
আপনাকে কি পরিকল্পনা করতে হবে স্থাপনাটি ট্র্যাক বা বেক মডিউলের সাথে ঘনিষ্ঠ সংহতির বিষয়ে: যান্ত্রিক ক্লিয়ারেন্স, কুল্যান্ট এবং পাওয়ার রাউটিং, এবং একটি নিষ্কাশন কৌশল যা ক্লিনরুমের নিয়ম মেনে চলে। সিস্টেমটি শুধুমাত্র স্পেক অনুযায়ী কাজ করে যখন চাক অবস্থান এবং প্রতিফলক সমন্বয় সময়সূচী অনুযায়ী রক্ষা করা হয়।
একটি সংক্ষিপ্ত যোগ্যতা রান পরিকল্পনা করুন। ওয়েফারের উপর সমতা মানচিত্র করুন, কণার সংখ্যা নিশ্চিত করুন, এবং উৎপাদনে স্থানান্তরের আগে বেক প্রোফাইলটি লক করুন।