ফ্যাব ফ্লোরে, ফটোরেজিস্ট বেক শুধুমাত্র একটি তাপ ধাপ নয়—এটি আয়তন নিয়ন্ত্রণ। নরম বেক এবং হার্ড বেক তাপমাত্রা যদি একটি ডিগ্রিরও সামান্য পার্থক্য হয়, তবে এটি গুরুত্বপূর্ণ মাত্রা স্থানান্তরিত করবে, প্রতিফলন পরিবর্তন করবে এবং লট জুড়ে ফলন হ্রাস করবে। ভ্যাকুয়াম ওভেন এই পরিস্থিতি আরও খারাপ করে: আপনি একটি নিম্নচাপে পরিবেশের মাধ্যমে তাপ স্থানান্তর করছেন, এবং উত্তপ্ত স্থান বা শীতল অঞ্চলের থেকে লুকানোর কোন জায়গা নেই।
কি গুরুত্বপূর্ণ ভেতরে আমরা ভ্যাকুয়াম ওভেনের তাপ উপাদানগুলি ওয়াফার-স্তরের তাপীয় একরূপতা ভিত্তিতে ডিজাইন করি, একবার সবকিছু স্থির হলে চেম্বারের মধ্যে ±0.1°C অর্জনের লক্ষ্য। উপাদানগুলি একটি নিম্ন-আউটগ্যাসিং কোয়ার্টজ শরীর ব্যবহার করে যা স্বল্প-তরঙ্গ ইনফ্রারেড বিকিরণ করে—দ্রুত, দিকনির্দেশিত তাপের সাথে পূর্বানুমানযোগ্য তাপমাত্রা প্রতিক্রিয়া। গরম অঞ্চলটি উচ্চ-পিউরিটি সেরামিক স্ট্যান্ডঅফের উপর চেম্বারের দেয়াল থেকে বিচ্ছিন্ন থাকে, এবং টার্মিনাল ব্লক ভ্যাকুয়াম সীমানার বাইরের দিকে বসানো থাকে যাতে কণার উত্পাদন যতটা সম্ভব শূন্যে রাখা যায়। ক্লিনরুমের ফিট বেক করা হয়: উপাদান এবং ফিনিশগুলি ক্লাস 1–100-এর জন্য রেটেড, এবং প্রতিটি জয়েন্ট এইভাবে স্থাপন করা হয় যাতে অবশিষ্টাংশ ধরে রাখার জন্য কোন খাঁজ তৈরি না হয়।
লিথোগ্রাফিতে, আপনাকে বেক প্রোফাইল প্রয়োজন যা পুনরাবৃত্তি হয়, শিফটের পর শিফট। আমাদের উপাদানগুলি সেই পুনরাবৃত্তিযোগ্যতা সরবরাহ করে, তাই একই ফটোরেজিস্ট তাপীয় বাজেট ওয়াফার লটের পর লটের মধ্যে পৌঁছে—কম CD বিস্তার, কম পুনঃকাজ। সুশৃঙ্খল, দ্রুত তাপ প্রোফাইলও সাইকেল সময়কে সঙ্কুচিত করে এবং প্রতি ব্যাচে শক্তি হ্রাস করে। নির্ভরযোগ্যতা সংরক্ষণশীল তাপীয় চাপ এবং একটি টেকসই টার্মিনেশন ডিজাইন থেকে আসে, তাই আপনি 24/7 চালাতে পারেন কোন উপাদান ব্যর্থতা অপ্রত্যাশিত ডাউনটাইম সৃষ্টি না করে।
স্থাপন সহিষ্ণুতাও গুরুত্বপূর্ণ। উপাদানটি সমানভাবে বসাতে হবে এবং যোগাযোগ এবং একরূপতা বজায় রাখতে হবে; যদি এটি সঠিক না হয়, আপনি স্থানীয় গরম স্থান পাবেন। এবং চেম্বারের জ্যামিতি উপাদানের বিন্যাস নির্ধারণ করে—রিট্রোফিটগুলিতে তাপ মানচিত্রটি ওয়াফার বোট অবস্থানের সাথে মিলে যেতে হবে। মাউন্টিং ইন্টারফেস এবং লোড ক্যারিয়ারের তাপীয় ভরটি আগে পরিকল্পনা করুন, নাহলে উৎপাদনে যাওয়ার পর একরূপতা স্থানান্তরিত হবে।