كيفية تجفيف رقاقات MEMS دون أي مشاكل
تجفيف رقاقات أجهزة الاستشعار من نوع MEMS يتطلب حذرًا شديدًا. يجب أن يختفي السائل المستخدم في غسل الرقاقات بسرعة، لكن إذا لم يتم ذلك بعناية، فقد تظهر بقع مائية على سطح الرقاقات، أو حتى قد يحدث ضغط ميكانيكي يدمر الرقاقات بالكامل.
لذلك، نستخدم أجهزة تسخين بالأشعة تحت الحمراء مصممة خصيصًا لهذا الغرض. بدلاً من تسخين الهواء فقط، تقوم هذه الأجهزة بتسخين سطح الرقاقة مباشرةً. وهذا يساعد في التخلص من الرطوبة قبل أن تؤدي قوى التوتر السطحي إلى تدمير الهياكل الدقيقة الموجودة على سطح الرقاقة.
الجانب الحراري
نسعى إلى استخدام قدرة عالية لكل بوصة من السطح. لماذا؟ لأننا نريد أن تصل الرقاقة إلى درجة الغليان في ثوانٍ، وليس دقائق. إذا استغرقت عملية التجفيف وقتًا طويلاً، فإن ذلك سيسمح بدخول الملوثات إلى الرقاقات.
لكن هناك مشكلة: الحرارة العالية قد تكون لها آثار سلبية. يجب أن نكون حذرين في تغيير درجة الحرارة. إذا تم رفع درجة الحرارة بسرعة، فقد تتشقق الأغشية الرقيقة الموجودة على الرقاقات.
الكوارتز ومشكلة “النفايات”
للحفاظ على استقرار الرقاقات، نستخدم الكوارتز عالي النقاء في صناعة الأجهزة. إنه الحل الوحيد لمواجهة التقلبات الحرارية الشديدة دون أن تتشوه الرقاقات.
كما نقوم أيضًا بطلاء الأسلاك المستخدمة في تسخين الرقاقات. هذا يساعد في توجيه الطاقة نحو سطح الرقاقة بدلاً من تسخين جدران الغرفة فقط. كما أننا نستخدم موصلات قياسية، بحيث يمكن استبدالها بسهولة عند الحاجة إلى صيانة.
لا مجال للأخطاء
في الغرف النظيفة، فإن وجود أي تيار كهربائي قد يدمر دفعة كاملة من الرقاقات في لحظة. لذلك، لا نخاطر أبدًا. كل جهاز تسخين نرسله يخضع لاختبارات دقيقة لضمان عدم وجود أي تسريبات كهربائية. فشل الجهاز أثناء الاستخدام أمر غير مقبول على الإطلاق.
نصيحة أخيرة: تأكد من أن مصادر الطاقة المستخدمة تتناسب مع مقاومة الجهاز. إذا لم تتناسب، فقد يؤدي ذلك إلى أداء ضعيف أو تلف الأسلاك بسرعة كبيرة.