石英 on Immediate Infrared Heating Solutions

用于光刻机的石英玻璃防护罩

Wed, 22 Jul 2026 02:20:14 +0800

利用石英防护罩让您的照明灯发挥更高效率
如果您在运营半导体制造工厂，那么您一定知道，红外线加热灯在晶圆烘烤和固化过程中起着至关重要的作用。不过，如果我们要实现碳中和的目标，就必须停止忽视能源的流失问题。
这时，石英玻璃防护罩就派上用场了。大多数人认为它只是个简单的保护层而已。但实际上，它更像是一个“热量控制器”——它能够决定有多少能量真正作用于晶圆上，又有多少能量被浪费掉了。

石英卤素红外发射器

Fri, 03 Jul 2026 03:01:41 +0800

在光刻工艺中，如果“Soft Bake”阶段的温度控制出现半度的偏差，就足以导致关键尺寸控制失灵。此时，光刻胶中的溶剂去除效果会变得不稳定，而“Hard Bake”阶段则会让这种误差固定下来。对于晶圆来说，温度均匀性并非额外的优势，而是工艺流程中不可或缺的条件。

中波石英加热管

Mon, 22 Jun 2026 18:56:55 +0800

在芯片制造过程中，大家都知道：如果烘烤温度出现半度左右的偏差，就足以导致芯片关键尺寸的均匀性出现问题，进而影响良率。而中波石英加热管则能够防止这种偏差的产生。

真正重要的是对晶圆本身的精确控制。中波红外线可以几乎不受表面效应的影响而穿透光阻层，同时，由于石英管的熱质量较小，它能够快速且均匀地传递热量。我们能够将整个烘烤过程中的晶圆表面温度控制在±0.1°C范围内，而在5,000小时以上的使用后，其重复性仍能保持在±0.2°C以内。从100°C到450°C的范围内，该装置都能提供稳定的输出效果；此外，它还支持快速升温功能，且不会产生任何颗粒物，因此适用于从1级到100级的洁净室环境。石英管不会析出气体，也能抵抗化学物质的侵蚀，其尺寸也适合标准化的涂覆/烘烤设备，无需进行额外的调整。