http://ir-heater-now.com/zh/tags/%E5%8D%A4%E7%B4%A0/ Recent content in 卤素 on Immediate Infrared Heating Solutions Hugo zh Fri, 03 Jul 2026 03:01:41 +0800 http://ir-heater-now.com/zh/posts/quartz-halogen-infrared-emitter/ Fri, 03 Jul 2026 03:01:41 +0800 http://ir-heater-now.com/zh/posts/quartz-halogen-infrared-emitter/ <p><img src="http://ir-heater-now.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="石英卤素红外发射器"></p> <p>在光刻工艺中，如果“Soft Bake”阶段的温度控制出现半度的偏差，就足以导致关键尺寸控制失灵。此时，<a href="https://goldisgood.com">光刻胶中的</a>溶剂去除效果会变得不稳定，而“Hard Bake”阶段则会让这种误差固定下来。对于晶圆来说，温度均匀性并非额外的优势，而是工艺流程中不可或缺的条件。</p> http://ir-heater-now.com/zh/posts/halogen-lamp-for-rtp-system/ Sat, 20 Jun 2026 01:57:12 +0800 http://ir-heater-now.com/zh/posts/halogen-lamp-for-rtp-system/ <p><img src="http://ir-heater-now.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="RTP系统用卤素灯"></p> <p>在光刻工厂里，光阻烘烤过程中，晶圆表面的温度可能会发生0.2°C的波动。这样的微小变化就会影响光刻工艺的精度和成品率。在RTP系统中，那盏灯不仅仅是一个热源，它还决定了整个系统的温度均匀性和重复性。</p>