http://ir-heater-now.com/zh/tags/%E5%85%89%E5%88%BB%E8%83%B6/ Recent content in 光刻胶 on Immediate Infrared Heating Solutions Hugo zh Thu, 18 Jun 2026 01:01:07 +0800 http://ir-heater-now.com/zh/posts/photoresist-baking-lamp/ Thu, 18 Jun 2026 01:01:07 +0800 http://ir-heater-now.com/zh/posts/photoresist-baking-lamp/ <p><img src="http://ir-heater-now.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="光刻胶烘烤灯"></p> <p>在光刻工序中，所谓“软烘烤”和“硬烘烤”，其实并不仅仅是简单的“加热步骤”。它们实际上决定了图案的精确度，也决定了是否需要重新加工。光阻材料对温度非常敏感，任何微小的温度变化都可能带来严重后果。哪怕温度偏差只有一两度，或者晶圆上出现局部过热现象，都会导致CD精度下降。</p>