Trong quy trình sản xuất, các bước nung khô chính là lúc mà giá trị nhiệt độ được xác định để kiểm soát độ rộng của các đường kẻ trên bề mặt wafer. Sự thay đổi nhiệt độ khoảng 2°C trong quá trình nung khô sẽ làm thay đổi giá trị CD bias, từ đó gây ra hiện tượng nhiễu trên bề mặt wafer. Chúng tôi đã chế tạo bộ gia nhiệt dựa trên công nghệ carbon nanotube nhằm loại bỏ sự biến động này.
Những yếu tố quan trọng về mặt kỹ thuật: Ở mức độ toàn bộ wafer, độ đồng đều về nhiệt độ có thể đạt mức ±0,1°C, còn độ chính xác của giá trị nhiệt độ được duy trì ở mức ±0,2°C. Bộ gia nhiệt dựa trên công nghệ carbon nanotube hoạt động rất nhanh và ổn định; thiết kế không sử dụng thạch anh giúp giảm thiểu sự tạo ra các hạt bụi. Thiết bị này có thể hoạt động trong môi trường sạch loại 1–100, không gây ra hiện tượng thoát khí vào buồng xử lý, và cũng không tạo ra những điểm nóng có thể ảnh hưởng đến bề mặt wafer. Chức năng kiểm soát nhiệt độ giúp duy trì giá trị nhiệt độ phù hợp với tính chất hóa học của lớp phủ trên wafer, thay vì chỉ tập trung vào việc kiểm soát sự dao động nhiệt độ do bộ gia nhiệt gây ra.
Tại sao thiết bị này hiệu quả trong quy trình in ấn: Trong quy trình in ấn, độ ổn định của nhiệt độ trong quá trình nung khô giúp loại bỏ chất dung môi và giảm áp lực lên lớp phủ trên wafer. Độ ổn định nhiệt độ trong quá trình nung cứng lại giúp tăng độ bám dính và khả năng chống ăn mòn của lớp phủ. Với bộ gia nhiệt này, sự thay đổi giá trị CD giảm đi, giảm thiểu số lần phải làm lại quy trình, và độ rộng của các đường kẻ trên wafer được duy trì ổn định. Thiết bị này có thể hoạt động 24/7 với chu kỳ bảo trì dễ dự đoán, từ đó giảm thiểu thời gian ngừng hoạt động không mong muốn. Ngoài ra, mức tiêu thụ năng lượng cũng thấp hơn, vì bộ gia nhiệt hoạt động hiệu quả và duy trì nhiệt độ ổn định mà không cần phải hoạt động liên tục.
Những thông tin cần biết: Bộ gia nhiệt cần có nguồn điện riêng biệt và được kết nối chắc chắn với wafer – nếu các điểm kết nối không phù hợp, sẽ ảnh hưởng đến độ đồng đều về nhiệt độ. Hãy lên kế hoạch thực hiện một vài lần kiểm tra ban đầu để điều chỉnh tốc độ gia nhiệt cho phù hợp với loại lớp phủ cụ thể mà bạn sử dụng. Một khi đã điều chỉnh xong, quy trình in ấn sẽ diễn ra ổn định hơn, và giá trị nhiệt độ sẽ được duy trì ổn định qua các lô sản xuất khác nhau.