فیبریکیشن لیول پر، بیکنگ کے مراحل ہی وہ جگہیں ہیں جہاں لائن ویڈتھ کو کنٹرول کرنے کے لئے تھرمل بجٹ طے کیا جاتا ہے۔ سافٹ بیک یا ہارڈ بیک کے دوران 2°C کی تبدیلی سے CD بایاس میں تبدیلی آتی ہے، اور اس سے مسائل پیدا ہونے لگتے ہیں۔ ہم نے اس مسئلے کو حل کرنے کے لئے کاربن نینوٹیوب بیسڈ ہیٹر تیار کیا ہے۔
تکنیکی اعتبار سے کیا اہم ہے؟
چک کے پورے علاقے میں، ویفر کی سطح پر تھرمل یکسانیت ±0.1°C کے درمیان ہوتی ہے، جبکہ سیٹپوائنٹ کی تکراریت ±0.2°C کے اندر رہتی ہے۔ کاربن نینوٹیوب عنصر فوری طور پر ردِعمل دیتا ہے اور مستحکم رہتا ہے؛ قزحیہ رہیتے ہوئے بھی ذرات کی پیداوار کم رہتی ہے۔ یہ ہیٹر کلاس 1–100 کے کلین رومز میں کام کرتا ہے، اور عملیاتی چیمبر میں کوئی گیس خارج نہیں ہوتی، نہ ہی کوئی گرم نقطہ پیدا ہوتا ہے جو ریزسٹ پر اثر ڈال سکے۔ ریمپ کنٹرول کی بدولت تھرمل پروفائل، ریزسٹ کی کیمیاء کے مطابق رہتا ہے، نہ کہ ہیٹر کی زیادہ گرمی کی وجہ سے۔
لیتھوگرافی میں یہ کیوں کارگر ہے؟
لیتھوگرافی میں، سافٹ بیک کے دوران درجہ حرارت کی استحکام، حل کو ہٹانے اور فلم کے دباؤ کو کنٹرول کرنے میں مدد کرتا ہے۔ ہارڈ بیک کی استحکام، چپکنے کی صلاحیت اور ایچنگ کے خلاف مزاحمت کو کنٹرول کرتا ہے۔ اس ہیٹر کی بدولت CD میں تغیرات کم ہو جاتے ہیں، دوبارہ کام کرنے کی ضرورت کم ہو جاتی ہے، اور لائنیں مستحکم رہتی ہیں۔ یہ ہیٹر 24/7 کام کرتا ہے، اور اس کی دیکھ بھال کے لئے منظم وقفے درکار ہیں؛ اس طرح غیرمتوقع بندشوں سے بچا جا سکتا ہے۔ توانائی کی کھپت بھی کم ہے، کیوں کہ یہ عنصر موثر طریقے سے گرمی پیدا کرتا ہے اور درجہ حرارت کو برقرار رکھتا ہے، بغیر بار بار چلنے کی ضرورت کے۔
آپ کو کون سی تفصیلات درکار ہیں؟
اس ہیٹر کے لئے الگ سے پاور سپلائی اور مناسب تھرمل سپورٹ ضروری ہے؛ غلط انٹرفیسوں کی وجہ سے یکسانیت متاثر ہو سکتی ہے۔ اپنے خاص ریزسٹ سیٹ کے لئے ریمپ ریٹس کو ایڈجسٹ کرنے کے لئے مختصر ٹیسٹنگ کی ضرورت ہے۔ جب یہ ٹھیک ہو جائے، تو عملیاتی عمل آسان ہو جاتا ہے، اور تھرمل پروفائل ہر بار یکساں رہتا ہے۔