Лампа для випалювання фотополімеру

Thu, 18 Jun 2026 01:01:07 +0800

На поверхні плати для літографії процеси „м’якого“ та „жорсткого“ випалювання не є просто тепловими процедурами. Це рамка, яка визначає рівень точності формування візерунка – без неї доводиться повторювати процедуру, а це зовсім не потрібно. Фотополімер є дуже чутливим до температури; навіть незначна зміна температури може призвести до проблем. Якщо температура відрізняється на кілька градусів, це може пошкодити структуру плати.

Що є важливим з технічної точки зору
Ми використовуємо галогенні лампи короткої довжини хвилі, які знаходяться у кварцовому корпусі. Це дає швидке та ефективне нагрівання з мінімальною кількістю частинок. Критично важливою є однорідність температури по всій поверхні плати – ±0,1°C. Повторюваність процедури також має бути високою, щоб кожен процес випалювання відбувався так само, як і попередні.

Нагрівач для випікання елементів електронного променя

Tue, 09 Jun 2026 00:57:34 +0800

На площі літографії піч для запікання електронно-променевого резиста – це не просто прогрівання. Це контрольна точка для управління шириною ліній. Зсув температури на 0,3°C може призвести до нахилених бокових стінок. Холодна зона може залишити плівку, і це проявиться пізніше у вигляді підйому при прояві. Ми розробили нагрівач для запікання електронно-променевого резиста, який працює в такій реальності — утримуючи температуру там, де це потрібно процесу, а не там, де нагрівач сам вирішує стабілізуватися.

Що має значення з технічної точки зору.
Ми використовуємо короткохвильові інфрачервоні елементи, розміщені у кварцовому тепловому шляху, тому нагрівання відбувається швидко і без забруднень. По всій пластині однорідність підтримується в межах ±0,1°C, а стабільність у точці заданої температури — нижче за ±0,05°C після виходу на постійний режим запікання. Система досягає температури запікання за секунди, що дозволяє скоротити час простою між партіями без перевищення теплового бюджету для фоторезиста.
Повторюваність температури відстежується окремо за рецептом, за інструментом і за добу, що дає змогу безпосередньо пов’язати історію запікання з показниками критичного розміру (CD). Гаряча зона сконструйована для чистих приміщень класу 1–100, з матеріалів і поверхонь, які мінімізують утворення частинок і спрощують очищення.

Baking on Immediate Infrared Heating Solutions

Лампа для випалювання фотополімеру

Нагрівач для випікання елементів електронного променя